[發(fā)明專利]基板粘結(jié)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710129062.2
• 申請日: 2007-07-11
• 公開（公告）號: CN101114091A
• 公開（公告）日: 2008-01-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 三本勝;渡邊茂雄;國弘立人
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社日立工業(yè)設(shè)備技術(shù)
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362;G02F1/1339;G02F1/1333
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 許海蘭

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及基板粘結(jié)裝置，特別涉及分別保持在真空腔(chamber)內(nèi)粘結(jié)的各基板并使其相對、減小間隔進(jìn)行粘結(jié)的適宜于液晶顯示面板等的組裝的基板粘結(jié)裝置。

背景技術(shù)

在液晶顯示面板的制造中有這樣的工序：把設(shè)置有透明電極或薄膜晶體管陣列的2張玻璃基板以數(shù)μm左右的極其接近的間隔通過設(shè)置在基板邊緣部分的粘結(jié)劑(以下也稱作密封劑)來進(jìn)行粘結(jié)(后面，將粘結(jié)后的基板稱作單元(cell))，在這樣形成的空間內(nèi)密封液晶。

在液晶的密封中有這樣的方法，以不設(shè)置注入口的方式在封有密封劑的模型(pattern)上描畫之后的一個基板上滴下液晶，在真空腔內(nèi)、在上述一個基板上配置另一個基板，使上下基板接近而進(jìn)行粘結(jié)。在專利文獻(xiàn)1中公開了為了對該真空腔內(nèi)搬入·輸出基板而設(shè)置預(yù)備室，使真空腔內(nèi)和預(yù)備室具有同樣氣氛，以進(jìn)行基板的放入和取出。

[專利文獻(xiàn)1]特開2001-305563號公報

在上述現(xiàn)有技術(shù)中，為了在放入取出基板時使預(yù)備室和真空腔內(nèi)具有同樣氣氛，從大氣狀態(tài)到真空狀態(tài)需要時間，成為提高基板生產(chǎn)性的瓶頸。特別是當(dāng)將2張基板搬入預(yù)備室以及從預(yù)備室向粘結(jié)室搬入時，為了一張一張地輸送，有必要使從預(yù)備室到粘結(jié)室為大氣狀態(tài)。另外，在專利文獻(xiàn)1中基板的輸送采用在滾輪上搭載基板而輸送的方式，但有劃傷基板或由于基板在滾輪上移動而產(chǎn)生的摩擦導(dǎo)致生成塵埃的擔(dān)心。并且，采用的結(jié)構(gòu)是，當(dāng)在粘結(jié)室的加壓板上保持基板時，使用吸引吸附機(jī)構(gòu)吸起上基板，然后使靜電吸附力作用使其保持在載臺表面，但由于具有2個吸附機(jī)構(gòu)、加壓板的構(gòu)造變得復(fù)雜，在切換控制吸引吸附和靜電吸附時，基板有可能從加壓板表面偏移并墜落，有必要預(yù)先設(shè)置基板托等。

發(fā)明內(nèi)容

因此本發(fā)明的目的在于提供一種生產(chǎn)性高的基板粘結(jié)裝置，該裝置設(shè)置有基板接收保持機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)在真空狀態(tài)下從機(jī)器手確實地接收上基板并保持在上載臺表面，從而可高精度且高速地進(jìn)行基板粘結(jié)。

實現(xiàn)上述目的的本發(fā)明的特征在于，采用這樣的結(jié)構(gòu)：在第2腔內(nèi)的上載臺上設(shè)置可上下移動的靜電吸附機(jī)構(gòu)，在從機(jī)器手接收基板時，從載臺表面下降上述靜電吸附機(jī)構(gòu)并使其接觸機(jī)器手上的基板面，對靜電吸附機(jī)構(gòu)通電并保持基板，在該狀態(tài)下將靜電吸附機(jī)構(gòu)引導(dǎo)至上載臺表面并維持保持，并且，采用的結(jié)構(gòu)包括搬入粘結(jié)前的2張基板的第1腔，進(jìn)行基板粘結(jié)的第2腔以及輸出粘結(jié)后的基板的第3腔，進(jìn)行可變控制使第1腔內(nèi)部和第3腔內(nèi)部從大氣壓變?yōu)橹姓婵諣顟B(tài)，進(jìn)行可變控制使第2腔從中真空變?yōu)楦哒婵铡?/p>

根據(jù)本發(fā)明的基板粘結(jié)裝置，在中真空狀態(tài)下能將上基板確實地接收并保持在上載臺上，并且在粘結(jié)時可使最必要的從大氣壓變?yōu)楦哒婵諣顟B(tài)的真空排氣時間為短時間而進(jìn)行粘結(jié)，而且可以高精度進(jìn)行真空中的基板的粘結(jié)。

附圖說明

圖1為示出本發(fā)明的一個實施方式的基板粘結(jié)裝置的結(jié)構(gòu)的斷面圖。

圖2為設(shè)置在上載臺的可動式靜電吸附機(jī)構(gòu)的概略圖。

圖3為圖1的基板粘結(jié)裝置的動作流程圖。

圖4為示出了圖3的基板粘結(jié)裝置的動作流程的接續(xù)的圖。

圖5為示出了圖4的基板粘結(jié)裝置的動作流程的接續(xù)的圖。

具體實施方式

下面，基于附圖說明本發(fā)明的一個實施例。在圖1中，本發(fā)明的基板粘結(jié)裝置1在上下任一方的基板上涂敷密封劑(粘結(jié)劑)，具有搬入滴有液晶的下基板和上基板的第1腔C1(有時也稱作基板前處理室或基板搬入室)，作為粘結(jié)上下2張基板的真空粘結(jié)室的第2腔C2，以及輸出粘結(jié)完畢的基板(液晶面板)的第3腔C3(有時也稱作基板后處理室或基板輸出室)。為了分別搬入2張基板(上基板30和下基板31)，在第1腔C1內(nèi)設(shè)置有上基板搬入用的機(jī)器手R1和下基板搬入用的機(jī)器手R2。并且在第3腔C3中設(shè)置有用于輸出粘結(jié)完畢的液晶面板的輸出用機(jī)器手R3。并且，在第1腔C1的入口側(cè)設(shè)置有第1門閥2，在第1腔C1和第2腔C2之間設(shè)置有第1閘門閥3。同樣地，在第2腔C2和第3腔C3之間設(shè)置有第2閘門閥4，在第3腔C3的出口側(cè)設(shè)置有第2門閥5。

并且，對第1腔C1進(jìn)行減壓的真空泵6、向上下基板搬入用的機(jī)器手R1、R2提供用于吸引吸附基板的負(fù)壓的真空泵7、和向第1腔C1內(nèi)提供要凈化的氮氣的氮氣供給源20相連接。并且，在向各個腔內(nèi)提供氮氣的各個配管上設(shè)置有閥(NV1～3)。