[發明專利]基板粘結裝置

有效

• 申請號: 200710129062.2
• 申請日: 2007-07-11
• 公開（公告）號: CN101114091A
• 公開（公告）日: 2008-01-30
• 發明（設計）人: 三本勝;渡邊茂雄;國弘立人
• 申請（專利權）人: 株式會社日立工業設備技術
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362;G02F1/1339;G02F1/1333
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 許海蘭

1.一種基板粘結裝置，包括：

為了分別搬入上下基板而設置了具有吸引吸附機構的搬入用機器臂的第1腔，以及使第1腔內部從大氣壓變為中真空狀態的真空泵，

第2腔，其設置有在上載臺上可上下移動地設置的可動式靜電吸附機構、和固定在上述上載臺的靜電吸附機構，利用上述可動式靜電吸附機構在中真空狀態下從上述機器臂接收上基板，并將上述靜電吸附機構提升至載臺表面以在載臺表面保持上基板，在下載臺上具有從上述機器臂接收下基板并載置于載臺表面的升降銷，在下載臺表面具有保持下基板的基板保持機構，在水平方向上移動任一方的載臺，對上下2張基板進行對位，使上下任一方的載臺上下動作以減小基板間隔、進行粘結，以及

第3腔，其具有在中真空狀態下從第2腔輸出粘結后的基板的機器臂，并在大氣狀態下將上述粘結后的基板搬出到腔外，

在上述第1腔、第2腔以及第3腔內具有測量各個腔內壓力的測量設備，并設置有控制各個腔的真空度的控制設備。

2.根據權利要求1記載的基板粘結裝置，其中，第1～第3腔具有真空泵，該真空泵用于從大氣狀態到中真空狀態下將基板吸引吸附在機器臂和下載臺上；并且將吸引吸附系統和腔內連接，通過開閉設置于其中間的閥而控制吸引吸附力。

3.根據權利要求1記載的基板粘結裝置，其中，在高真空狀態下在第2腔內的上載臺上保持基板時，代替上述固定式靜電吸附機構而設置了利用粘著力的粘著吸附機構。

4.根據權利要求1記載的基板粘結裝置，其中，為了防止粘結后的上下基板的位置偏移，在輸送基板時使腔內為中真空狀態。