[發明專利]去除邊緣光刻膠裝置

有效

• 申請號: 200710120730.5
• 申請日: 2007-08-24
• 公開（公告）號: CN101373341A
• 公開（公告）日: 2009-02-25
• 發明（設計）人: 宋瑞濤;陳祥麟;張學智;鄭鐵元;王晏酩;張榮軍;蘇九端
• 申請（專利權）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42;G02F1/1333
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司
• 代理人: 劉芳

技術領域

本發明涉及一種液晶顯示面板生產中使用的去除光刻膠裝置，尤其是一種去除邊緣光刻膠裝置。?

背景技術

液晶顯示器(LCD)中主要的顯示功能器件為液晶面板，液晶面板結構一般由上下兩層基板對盒而成，中間為液晶層，其顯示原理是利用液晶分子具有的介電各向異性及導電各向異性，在上下兩層基板上分別形成有對應電極，從而在兩基板間產生電場，外加電場時使中間液晶分子的排列狀態轉換，產生各種光電效應。一基板上具有矩陣陣列的多個像素電極、另一基板具有公共電極的LCD在市場中占有主導地位，它通過薄膜晶體管(TFT)作為控制開關，控制施加到像素電極上電壓的不同而產生不同的圖像。?

圖2為薄膜晶體管的結構示意圖。如圖2所示，薄膜晶體管的制造工藝首先是在玻璃基板1上形成金屬柵極薄膜，柵極薄膜由鋁或鋁合金通過濺射沉積形成，經過光刻工序(涂膠、曝光、顯影和刻蝕)將柵極薄膜形成柵電極2和柵極線(未標出來)；其次利用化學氣相沉積先后在柵電極2上面依次沉積絕緣層、半導體層和摻雜半導體層，對半導體層和摻雜半導體層進行第二次光刻工序形成絕緣層3、半導體層4和摻雜半導體層5；然后在上述結構上利用濺射工藝形成金屬源/漏薄膜(Mo-Al-Mo三層金屬組成)，再通過第三次光刻工序形成金屬源/漏結構6，從而形成具有三個端子的薄膜晶體管(TFT)。?

在上述制造工藝的光刻工序中，光刻膠被均勻地涂敷在整個基板表面，在進入下一工序前，基板邊緣的光刻膠要去除掉，否則邊緣的光刻膠滴落到后續單元設備中會形成不良并且影響設備的正常運行，降低稼動率。因此在TFT的制造工藝中，去除邊緣光刻膠裝置是影響良品率的一個重要設備。

在傳統的去除邊緣光刻膠工藝中，基板進入去除邊緣光刻膠裝置后，由四個移動噴嘴分四個行程(折返兩次)對其邊緣處噴化學藥液，溶解后通過排管排出，達到去除光刻膠的效果。傳統去除邊緣光刻膠裝置中，藥液從豎直噴針中噴到基板邊緣上，溶解掉光刻膠。同時為防止溶解后的光刻膠滴落到設備中，在外側呈45°分布有氮氣噴針，最后一個行程啟用，把溶解后的光刻膠吹到排管中排走。實際生產表明，該結構會使45°噴射的氮氣和垂直噴射的藥液在最后一個行程同時噴射，當某個或部分噴針出現變形時，氣液形成角度差，容易使化學藥液濺射到基板上，產生不良。?

發明內容

本發明的目的是提供一種去除邊緣光刻膠裝置，有效解決現有裝置使用中藥液容易濺射到基板上形成不良等技術缺陷。?

為了實現上述目的，本發明提供了一種去除邊緣光刻膠裝置，包括裝置主體，所述裝置主體內設置有通過負壓抽吸玻璃基板邊緣殘液的排管，所述裝置主體上連接有從玻璃基板上方和下方以傾斜方向向玻璃基板端部噴射化學藥液的上噴針和下噴針。?

所述上噴針通過上連接件與所述裝置主體連接，所述上連接件上設置有導入化學藥液的上藥液進口。?

所述下噴針通過下連接件與所述裝置主體連接，所述下連接件上還設置有導入化學藥液的下藥液進口。?

在上述技術方案基礎上，所述上噴針與玻璃基板的夾角為30°～60°，所述下噴針與玻璃基板的夾角為30°～60°。優選地，所述上噴針與玻璃基板的夾角為45°，所述下噴針與玻璃基板的夾角為45°。?

在上述技術方案基礎上，所述上噴針的端部與玻璃基板的垂直距離為?1mm～1.5mm，所述下噴針的端部與玻璃基板的垂直距離為1mm～1.5mm。優選地，所述上噴針的端部與玻璃基板的垂直距離為1.25mm，所述下噴針的端部與玻璃基板的垂直距離為1.25mm。?

在上述技術方案基礎上，所述排管內的負壓為300pa～800pa。?

本發明針對現有裝置使用中化學藥液容易濺射到基板上形成不良等技術缺陷，通過改變化學藥液的進入管道、噴射方向和設置具有負壓力的排管，提出了一種新型結構的去除邊緣光刻膠裝置。與現有技術吹氮氣的技術方案相比，本發明技術方案取消現有技術的豎直噴針，不再吹氮氣，因此避免了現有裝置使用中出現的氣液干涉，減少了化學藥液濺射到玻璃基板上形成不良的幾率。本發明將化學藥液經傾斜設置的上噴針和下噴針噴出，同時在排管內設置負壓，及時吸走溶解的光刻膠，一方面可以快速去除光刻膠，另一方面減少了化學藥液的濺射幾率，同時節約氮氣，降低了生產成本。?

下面通過附圖和實施例，對本發明的技術方案做進一步的詳細描述。?

附圖說明

圖1為本發明去除邊緣光刻膠裝置結構示意圖；?