[發明專利]去除邊緣光刻膠裝置有效
| 申請號： | 200710120730.5 | 申請日： | 2007-08-24 |
| 公開（公告）號： | CN101373341A | 公開（公告）日： | 2009-02-25 |
| 發明（設計）人： | 宋瑞濤;陳祥麟;張學智;鄭鐵元;王晏酩;張榮軍;蘇九端 | 申請（專利權）人： | 北京京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/42 | 分類號： | G03F7/42;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 | 代理人： | 劉芳 |
| 地址： | 100176北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 去除 邊緣 光刻 裝置 | ||
1.一種去除邊緣光刻膠裝置，包括裝置主體，其特征在于，所述裝置主 體內設置有通過負壓抽吸玻璃基板邊緣殘液的排管，所述裝置主體上連接有 從玻璃基板上方和下方以傾斜方向向玻璃基板端部噴射化學藥液的上噴針和 下噴針；所述上噴針與玻璃基板的夾角為30°～60°，所述下噴針與玻璃基 板的夾角為30°～60°。
2.根據權利要求1所述的去除邊緣光刻膠裝置，其特征在于，所述上噴 針通過上連接件與所述裝置主體連接，所述上連接件上設置有導入化學藥液 的上藥液進口。
3.根據權利要求1所述的去除邊緣光刻膠裝置，其特征在于，所述下噴 針通過下連接件與所述裝置主體連接，所述下連接件上還設置有導入化學藥 液的下藥液進口。
4.根據權利要求1所述的去除邊緣光刻膠裝置，其特征在于，所述上噴 針與玻璃基板的夾角為45°，所述下噴針與玻璃基板的夾角為45°。
5.根據權利要求1～3中任一權利要求所述的去除邊緣光刻膠裝置，其特 征在于，所述上噴針的端部與玻璃基板的垂直距離為1mm～1.5mm，所述下噴 針的端部與玻璃基板的垂直距離為1mm～1.5mm。
6.根據權利要求5所述的去除邊緣光刻膠裝置，其特征在于，所述上噴 針的端部與玻璃基板的垂直距離為1.25mm，所述下噴針的端部與玻璃基板的 垂直距離為1.25mm。
7.根據權利要求1～3中任一權利要求所述的去除邊緣光刻膠裝置，其特 征在于，所述排管內的負壓為300pa～800pa。
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