[發(fā)明專利]有機(jī)半導(dǎo)體裝置及制造法、有機(jī)電致發(fā)光裝置及制造法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710109512.1
• 申請日: 2007-06-27
• 公開（公告）號: CN101097990A
• 公開（公告）日: 2008-01-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 深瀨章夫;富岡俊二;柳原弘和
• 申請（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H01L51/00
• 分類號: H01L51/00;H01L51/56;H05B33/10
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 李貴亮

1.一種有機(jī)電致發(fā)光裝置的制造方法，其是在基板上具備多個有機(jī) 層和夾持所述多個有機(jī)層的陰極及陽極的有機(jī)電致發(fā)光裝置的制造方法， 其中的多個有機(jī)層至少包括具有空穴輸送性的有機(jī)層和具有發(fā)光性的有 機(jī)層，該制造方法的特征在于，具備：

涂布膜形成工序，其在作為對象面的所述陽極上，形成使構(gòu)成所述多 個有機(jī)層中的一個有機(jī)層的材料溶解或分散于第1溶劑而成的液態(tài)組合 物的涂布膜；

變質(zhì)工序，其是將所述涂布膜中所述對象面?zhèn)鹊囊?guī)定的厚度部分按照 不溶解于含有所述第1溶劑的規(guī)定溶劑的方式發(fā)生變質(zhì)；和

除去工序，其利用所述規(guī)定的溶劑除去所述涂布膜中在所述變質(zhì)工序 中沒有發(fā)生變質(zhì)的非變質(zhì)部分；

所述陽極以具有導(dǎo)電性的金屬氧化物為主要成分，

在所述變質(zhì)工序中，通過使有機(jī)化合物交聯(lián)化，所述金屬氧化物中所 含的氧原子與有機(jī)半導(dǎo)體層中含有的有機(jī)化合物的分子的交聯(lián)部分發(fā)生 化學(xué)結(jié)合。

2.一種有機(jī)電致發(fā)光裝置的制造方法，其是在基板上具備多個有機(jī) 層和夾持所述多個有機(jī)層的陰極及陽極的有機(jī)電致發(fā)光裝置的制造方法， 其中的多個有機(jī)層至少包括具有空穴輸送性的第1有機(jī)層和具有發(fā)光性 的第2有機(jī)層，該制造方法的特征在于，

具有第1有機(jī)層形成工序、和在所述第1有機(jī)層上形成所述第2有機(jī) 層的第2有機(jī)層形成工序，其中的第1有機(jī)層形成工序包括：

在作為對象面的所述陽極上，形成使構(gòu)成所述第1有機(jī)層的材料溶解 或分散于第1溶劑而成的液態(tài)組合物的第1涂布膜的第1涂布膜形成工 序；

使所述第1涂布膜中所述對象面?zhèn)鹊囊?guī)定的厚度部分按照不溶解于 含有所述第1溶劑的規(guī)定溶劑的方式發(fā)生變質(zhì)的第1變質(zhì)工序；和

利用所述規(guī)定的溶劑除去所述第1涂布膜中在所述第1變質(zhì)工序中沒 有發(fā)生變質(zhì)的非變質(zhì)部分的第1除去工序；

所述陽極以具有導(dǎo)電性的金屬氧化物為主要成分，

在所述第1變質(zhì)工序中，通過使有機(jī)化合物交聯(lián)化，所述金屬氧化物 中所含的氧原子與有機(jī)半導(dǎo)體層中含有的有機(jī)化合物的分子的交聯(lián)部分 發(fā)生化學(xué)結(jié)合。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的有機(jī)電致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在 于，

所述第2有機(jī)層形成工序包括：

在所述第1有機(jī)層上，形成使構(gòu)成所述第2有機(jī)層的材料溶解或分散 于所述規(guī)定的溶劑而成的液態(tài)組合物的第2涂布膜的第2涂布膜形成工 序；

使所述第2涂布膜中所述第1有機(jī)層的表面?zhèn)鹊囊?guī)定的厚度部分按照 不溶解于所述規(guī)定的溶劑的方式發(fā)生變質(zhì)的第2變質(zhì)工序；和

利用所述規(guī)定的溶劑除去所述第2涂布膜中在所述第2變質(zhì)工序中沒 有發(fā)生變質(zhì)的非變質(zhì)部分的第2除去工序。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的有機(jī)電致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在 于，

所述第2涂布膜含有：發(fā)光性有機(jī)化合物，和含有雙鍵基、環(huán)氧基及 環(huán)狀醚基中的至少一種的交聯(lián)性有機(jī)化合物，

在所述第2變質(zhì)工序中，對所述第2涂布膜中含有的所述交聯(lián)性有機(jī) 化合物進(jìn)行熱處理、向所述交聯(lián)性有機(jī)化合物照射紫外線、向所述交聯(lián)性 有機(jī)化合物照射電子束、或者向所述交聯(lián)性有機(jī)化合物照射等離子，來使 其交聯(lián)。