[發明專利]基板對位系統及其對位方法

有效

• 申請號: 200710108979.4
• 申請日: 2007-06-11
• 公開（公告）號: CN101060112B
• 公開（公告）日: 2007-10-24
• 發明（設計）人: 魯柏樹
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: H01L23/544
• 分類號: H01L23/544;H01L23/488;H01L21/68;H01L21/60;G02F1/1333
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 任默聞

1.一種基板對位方法，用以對準第一基板和第二基板，所述的第一基板具有依序設置的多個第一引腳，且所述的第二基板具有依序設置且對應于所述的第一引腳的多個第二引腳，所述的第一引腳之間具有至少一第一標記，所述的第二引腳之間具有至少一對應的第二標記，其中所述的第一標記與所述的第二標記的形狀不相同，所述的對位方法包括：

檢測所述的第一標記；

檢測對應的所述的第二標記；

計算所述的第一標記與所述的第二標記之間的距離以得到X軸向偏移量；

計算所述的第一標記與所述的第二標記之間的距離以得到Y軸向偏移量；

根據所述的X軸向偏移量和所述的Y軸向偏移量調整所述的第一基板和所述的第二基板的相對位置；以及

對位黏合所述的第一基板和所述的第二基板。

2.根據權利要求1所述的基板對位方法，其特征在于，得到所述的X軸向偏移量的步驟包括：

測量所述的第一標記與所述的第二標記之間的X軸向距離；以及

將所述的X軸向距離換算成所述的X軸向偏移量。

3.根據權利要求1所述的基板對位方法，其特征在于，得到所述的Y軸向偏移量的步驟包含：

測量所述的第一標記與所述的第二標記之間的Y軸向距離；以及

將所述的Y軸向距離換算成所述的Y軸向偏移量。

4.根據權利要求1所述的基板對位方法，其特征在于，所述的第一標記與所述的第二標記具有不相同的顏色。

5.根據權利要求1所述的基板對位方法，其特征在于，所述的第一基板為印刷電路板或薄膜覆晶基板。

6.根據權利要求1所述的基板對位方法，其特征在于，所述的第二基板為印刷電路板或薄膜覆晶基板。