[發(fā)明專利]以軟板進(jìn)行封裝的制程方法及供制程用的載具無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200710107723.1 | 申請日: | 2007-04-28 |
| 公開(公告)號: | CN101295652A | 公開(公告)日: | 2008-10-29 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 楊頂安 | 申請(專利權(quán))人: | 同欣電子工業(yè)股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/50 | 分類號: | H01L21/50;H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人: | 許靜 |
| 地址: | 臺灣省*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 進(jìn)行 封裝 方法 供制程用 | ||
1.一種用軟板進(jìn)行封裝的制程方法,該方法包括如下步驟:
提供至少一個軟板和一個載具,各軟板的厚度小于0.2mm,并且各軟板上有多個組件區(qū),各組件區(qū)包括線路及芯片座;
將載具結(jié)合在軟板的周邊位置上方;
將芯片粘合在軟板的芯片座上;
將芯片上的焊點(diǎn)與軟板線路進(jìn)行電連接步驟;
將軟板連同芯片進(jìn)行封膠制程;及
對應(yīng)各組件區(qū)位置切割出多個電子組件。
2.如權(quán)利要求1所述的用軟板進(jìn)行封裝的制程方法,其特征在于,在結(jié)合載具與軟板步驟中,用膠帶將軟板粘合到載具上。
3.如權(quán)利要求1所述的用軟板進(jìn)行封裝的制程方法,其特征在于,在結(jié)合載具與軟板步驟中,在載具與軟板接合處粘合一熱固膠帶,然后對該熱固膠帶加熱,將載具與軟板連接。
4.如權(quán)利要求1、2或3所述的用軟板進(jìn)行封裝的制程方法,其特征在于,在上述電連接步驟中,通過打線制程將芯片上的焊點(diǎn)與對應(yīng)線路電連接。
5.一種用軟板進(jìn)行封裝的制程方法用的載具,包括:
框架,該框架的中間位置至少有一個中間開口,且該框架中間開口的空間尺寸與軟板相互匹配;及
膠帶,該熱固膠帶的外部粘合在上述框架周邊,而內(nèi)部凸出于靠近上述框架的中間開口的邊緣處。
6.如權(quán)利要求5所述用軟板進(jìn)行封裝的制程方法用的載具,其特征在于,該框架包含兩個獨(dú)立中間開口。
7.如權(quán)利要求5或6所述用軟板進(jìn)行封裝的制程方法用的載具,其特征在于,所述框架上有多個定位孔。
8.如權(quán)利要求5所述用軟板進(jìn)行封裝的制程方法用的載具,其特征在于,所述軟板及中間開口呈矩形。
9.如權(quán)利要求5或6所述用軟板進(jìn)行封裝的制程方法用的載具,其特征在于,所述膠帶為熱固膠帶。
10.如權(quán)利要求9所述用軟板進(jìn)行封裝的制程方法用的載具,其特征在于,所述軟板及中間開口呈矩形。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





