[發(fā)明專利]具有用于傳輸平板襯底的傳輸輥的真空涂覆設備

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710106786.5
• 申請日: 2007-06-22
• 公開（公告）號: CN101092686A
• 公開（公告）日: 2007-12-26
• 發(fā)明（設計）人: 尤爾根·亨利奇;安德里亞斯·紹爾;哈羅德·伍斯特;埃德加·哈勃科恩
• 申請（專利權）人: 應用材料合資有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;H01L21/677
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 趙飛

技術領域

本發(fā)明涉及真空涂覆設備。

背景技術

襯底的涂層在真空涂覆設備中發(fā)生，從而微粒被轟擊離開靶，微粒在朝向襯底的方向運動并沉積在其上。為了實現襯底的均勻涂層，襯底和靶進行相對于彼此的相對移動，優(yōu)選地襯底移動經過靶。

其中通過專用的傳輸設備使襯底移動。

如果待涂覆的是大面積且基本剛硬的襯底，例如建筑玻璃，則經常使用一種傳輸系統(tǒng)，其包括不同的連續(xù)傳輸輥。這些傳輸輥經由齒帶、鏈條和齒輪互相連接，并通過共用的驅動裝置(例如，通過電機)來驅動。

一種用于軸的驅動設備是公知的，其位于處理室內(US?2005/0206260A1)。這里，該軸通過電機經由磁耦合裝置來被操作，該電機位于處理室外部。

一種在真空涂覆設備中用于襯底并具有數個傳輸輥的傳輸設備也是公知的，其中至少一個輥用作驅動軸(DE?10328273A1)。在此設備中，驅動裝置以及傳輸輥全部都位于涂覆設備的抽空區(qū)域中。

最后，一種處理室也是公知的，其包括用于工件的傳輸系統(tǒng)(GB?2171119A)。該傳輸系統(tǒng)包括由磁耦合裝置驅動的圓筒。這里，該磁耦合裝置不僅用于從外部到處理室內的轉矩傳遞，而且還用于在處理室內布置在提升裝置上的兩組傳輸輥之間切換。

發(fā)明內容

本發(fā)明解決了如下問題，其提供了一種在真空涂覆設備中用于平板襯底的傳輸設備，其中可以在不具有很大困難的情況下實現將該傳輸設備安裝到真空涂覆設備中以及從真空涂覆設備移除該傳輸設備。

根據本發(fā)明的下述方案解決了此問題。

根據本發(fā)明的第一方面，一種真空涂覆設備包括：真空涂覆室；數個可旋轉輥，其平行地布置在所述真空涂覆室內，用于平板襯底的傳輸；其特征在于：驅動裝置，其布置在所述真空涂覆室的外部；至少一個磁耦合裝置，其位于所述驅動裝置和至少一個傳輸輥之間。

根據本發(fā)明的第二方面，一種真空涂覆設備包括：真空涂覆室；數個可旋轉圓筒，其平行地布置在所述真空涂覆室內，用于平板襯底的傳輸；其特征在于：驅動裝置，其布置在所述真空涂覆室內；至少一個磁耦合裝置，其位于所述驅動裝置和至少一個傳輸輥之間。

因此本發(fā)明涉及一種真空涂覆設備，其具有用于平板襯底的傳輸系統(tǒng)，平板襯底被傳輸通過真空室。此傳輸系統(tǒng)包括數個平行布置的圓筒。可以提供位于真空室內部或外部的一個或數個電機作為用于這些圓筒的驅動裝置。在任何情況下，經由磁耦合裝置在一個或多個電機與圓筒之間產生耦合。因為在驅動裝置和圓筒之間不需要建立機械耦合，所以它們可以容易地互相分離，其允許使得圓筒以及與它們一起的濺射陰極設置在能夠被驅動進入和離開真空室的滑入元件中。如果不是每個圓筒都設置有其各自的驅動裝置，則與驅動裝置耦合的圓筒可以經由V帶等與其他圓筒連接。

本發(fā)明所獲得的優(yōu)點具體包括不需要例如旋轉軸密封裝置或流體密封裝置之類的密封元件。此外，避免了潛在的泄漏位置。磁耦合裝置還是非接觸式的，并從而是無磨損和免維護的：它們還可以比旋轉穿通件更具性價比地制造。除此之外，在磁耦合裝置的情況下，可以經由磁體距離以簡單方式設定轉矩限制。

如果該傳輸設備涉及這樣一種傳輸設備，其設置有用于傳輸大面積襯底(例如片和玻璃，特別是建筑玻璃)的傳輸輥，則如果每個傳輸輥包括其各自的磁間隙耦合裝置，則是特別有利的。與旋轉剛性耦合裝置相比，磁間隙耦合裝置具體具有它們是真空密封的優(yōu)點。此屬性使得它們用于真空涂覆設備的使用是特別理想的。還有一個優(yōu)點是磁間隙耦合裝置可以實施為徑向和軸向形式。

因此，驅動機構可以不僅如傳統(tǒng)那樣位于真空室內，而且還可以位于大氣壓下。

因此，驅動機構位于大氣壓下，維護和修理將更簡單，因為數個小時的較長排空時間成為不必要，所以顯著地降低了生產成本。如果驅動機構置于大氣壓下，則不再需要使此裝置包括相對昂貴的真空旋轉穿通件。它們被更具性價比的磁間隙耦合裝置所代替。通過利用磁間隙耦合裝置，因而不再需要安裝例如軸和流體密封裝置之類的旋轉密封元件，從而避免了潛在的泄漏位置。

因為驅動裝置(例如電機)經由磁間隙耦合裝置將旋轉運動傳遞到傳輸輥上，所以可以簡單地設定襯底的傳輸速率。例如，可以經由驅動裝置本身來設定傳輸速率；1另外，可以經由磁體互相之間的距離，實現轉矩限制，其中磁體的強度也對轉矩具有決定性的影響。