[發(fā)明專利]用于確定熔絲狀態(tài)的半導(dǎo)體裝置和方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710106568.1
• 申請(qǐng)日: 2007-06-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101086983A
• 公開(kāi)（公告）日: 2007-12-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 岡田紀(jì)雄;上田岳洋
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 恩益禧電子股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L23/525
• 分類號(hào): H01L23/525;H01L21/66;H01L21/768
• 代理公司: 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 關(guān)兆輝;陸錦華

1.一種半導(dǎo)體裝置，包括：

半導(dǎo)體襯底；

熔絲，該熔絲包括導(dǎo)電材料并且形成在所述半導(dǎo)體襯底上；

接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域，該接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域被放置在所述半導(dǎo)體襯底上的所述熔絲周圍，且這樣形成該接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域：以便當(dāng)執(zhí)行切斷該熔絲的處理時(shí)，通過(guò)構(gòu)成該熔絲的導(dǎo)電材料與該熔絲電接觸；以及

確定單元，該確定單元檢測(cè)所述熔絲是否電斷開(kāi)，以及所述接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域與所述熔絲是否電連接，并且當(dāng)檢測(cè)到所述熔絲電斷開(kāi)時(shí)或檢測(cè)到所述接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域與所述熔絲之間的電連接時(shí)，確定所述熔絲處于切斷狀態(tài)。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中

所述確定單元包括：第一檢測(cè)單元，該第一檢測(cè)單元與所述熔絲的一端相連并檢測(cè)該熔絲是否電斷開(kāi)；第二檢測(cè)單元，該第二檢測(cè)單元與所述接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域相連并用于檢測(cè)所述接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域與所述熔絲是否電連接；以及輸出單元，來(lái)自所述第一檢測(cè)單元的輸出以及來(lái)自所述第二檢測(cè)單元的輸出被輸入到所述輸出單元中，且該輸出單元輸出信號(hào)，該信號(hào)表示在所述第一檢測(cè)單元檢測(cè)到所述熔絲的電斷開(kāi)的情況下或者在所述第二檢測(cè)單元檢測(cè)到所述接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域與所述熔絲之間的電連接的情況下，所述熔絲處于切斷狀態(tài)。

3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體裝置，其中

所述第二檢測(cè)單元在所述熔絲接地的狀態(tài)下將預(yù)定的第一電位提供給所述接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域，以檢測(cè)所述接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域的電位，在所述接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域的所述電位為所述預(yù)定的第一電位的情況下，檢測(cè)到所述接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域與所述熔絲沒(méi)有電連接，以及在所述接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域的所述電位為接地電位的情況下，檢測(cè)到所述接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域與所述熔絲電連接。

4.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體裝置，其中

所述第一檢測(cè)單元在所述熔絲的另一端接地的狀態(tài)下將預(yù)定的第二電位提供給所述熔絲的所述一端，以檢測(cè)在所述一端的電位，在所述一端的所述電位為所述預(yù)定的第二電位的情況下檢測(cè)到所述熔絲被電斷開(kāi)，以及在所述一端的所述電位為接地電位的情況下檢測(cè)到所述熔絲沒(méi)有電斷開(kāi)。

5.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體裝置，其中

在所述熔絲中，在所述一端側(cè)與連接部分之間形成切斷部分，該連接部分在切斷狀態(tài)下與所述接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域相連。

6.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體裝置，其中

所述熔絲包括由所述導(dǎo)電材料構(gòu)成的流出部分，其中該導(dǎo)電材料從所述熔絲中流出，以與所述接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域相連，并在切斷狀態(tài)下在所述流出部分與所述第一檢測(cè)單元之間形成切斷部分。

7.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中

所述接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域由覆蓋構(gòu)件構(gòu)成，其中該覆蓋構(gòu)件從上面、下面以及各側(cè)面覆蓋所述熔絲，以在所述熔絲被切斷時(shí)防止構(gòu)成該熔絲的導(dǎo)電材料擴(kuò)散到周圍中去。

8.一種用于確定半導(dǎo)體裝置中的熔絲狀態(tài)的方法，其中該半導(dǎo)體裝置包括：熔絲，該熔絲包括導(dǎo)電材料并形成在半導(dǎo)體襯底上；以及接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域，其被放置在所述半導(dǎo)體襯底上的所述熔絲周圍，如此形成該接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域，以便當(dāng)執(zhí)行切斷所述熔絲的處理時(shí)，通過(guò)構(gòu)成所述熔絲的導(dǎo)電材料與所述熔絲電接觸，該用于確定所述熔絲狀態(tài)的方法包括：

檢測(cè)所述熔絲是否電斷開(kāi)，

檢測(cè)所述接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域與所述熔絲是否電連接；以及

當(dāng)檢測(cè)到所述熔絲電斷開(kāi)時(shí)或檢測(cè)到所述接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域與所述熔絲之間的電連接時(shí)，確定所述熔絲處于切斷狀態(tài)。

9.如權(quán)利要求8所述的用于確定熔絲狀態(tài)的方法，其中

在所述檢測(cè)接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域與所述熔絲是否電連接時(shí)，將預(yù)定電位提供給所述接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域，并在所述熔絲接地的狀態(tài)下，檢測(cè)該接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域的電位，在該接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域的所述電位為接地電位的情況下，檢測(cè)到所述接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域與所述熔絲之間的電連接，以及在該接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域的所述電位為所述預(yù)定電位的情況下，檢測(cè)到所述接觸目標(biāo)導(dǎo)體區(qū)域與所述熔絲之間的電斷開(kāi)。