[發明專利]大面積基板的干燥裝置及方法

有效

• 申請號: 200710104734.4
• 申請日: 2007-04-25
• 公開（公告）號: CN101082466A
• 公開（公告）日: 2007-12-05
• 發明（設計）人: 趙允仙
• 申請（專利權）人: K.C.科技股份有限公司
• 主分類號: F26B15/00
• 分類號: F26B15/00;F26B3/06
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司
• 代理人: 韓明星;譚昌馳

技術領域

本發明涉及一種大面積基板的干燥裝置及方法，尤其涉及無需使用超干燥空氣而對大面積基板進行干燥的大面積基板干燥裝置及方法。

背景技術

通常，現有的大面積基板干燥裝置采用利用風刀(Air?Knife)向大面積基板噴射凈化干燥空氣(CDA：Clean?Dry?Air)而清除大面積基板水分的方式。

為了提高這種干燥方式的效率曾提出使用干燥度更高的空氣的方式，其具體內容是為了提高干燥度更高的空氣干燥效率而設置專門的干燥室。

上述方式被公開號為“10-2004-0089071”的韓國專利所記載，下面詳細說明該方式。

圖1為現有干燥裝置的示意圖，圖中為了表示內部結構而使用了部分假想線。高速干燥裝置設在清潔的環境中。附圖中，殘留液體清除室1和與該殘留液體清除室1相鄰的超干燥室2設在內側殼體3(點劃線)內。外側殼體4(點劃線)隔著空間5包圍著內側殼體3。用于移送被清洗物體P的移送滾子6連通內側殼體3、外側殼體4、殘留液體清除室1以及超干燥室2。

利用非揮發性液體或揮發性液體清洗的被清洗物體P通過移送滾子6沿箭頭方向移送，并通過設在外側殼體4和內側殼體3中的開口(省略圖示)被送入殘留液體清除室1中，所述開口的大小被設置為可使被清洗物體P通過。移送滾子6被支撐板S支持并可以旋轉。移送滾子6也可以布置成夾著被清洗物體P而上下相對的形態。

在該殘留液體清除室1中通過噴射空氣從被清洗物體P表面清除殘留液體。如圖所示，殘留液體清除室1在上部/下部位置布置用于噴射空氣的空氣噴嘴7。凈化空氣通過高性能過濾器(省略圖示)供應到緩沖罐8中，并填充該緩沖罐8而被均勻地送往上下對應的空氣噴嘴7。為了避免附圖變得復雜，示出了僅設置上下一組空氣噴嘴7的情況，但也可以沿著箭頭所示移送方向設置多級空氣噴嘴7。

殘留液體清除室1的空氣噴嘴7在鉛垂平面內朝搬入口方向(省略圖示)傾斜，以產生流動方向與被清洗物體P的移送方向相反的空氣。空氣噴嘴7的傾斜狀態會大大影響從被清洗物體P表面清除液體的效果。通過反復實驗確認最有效地清除液體的傾斜角度為15度左右。

并且，將噴嘴7設置成與被清洗物體P的前進方向相垂直，然后在水平面內逐漸改變角度使其相對于前進方向傾斜，該水平面內的傾斜角度也會影響清洗液的清除效果，最有效的傾斜角度范圍是25～45度。

現有的根據熱風進行干燥的干燥裝置中清除水分用風口(slit)的空氣量為每個風口需要1.5～3Nm³/min左右，但該噴嘴7只需0.2Nm³/min左右的空氣量即可充分清除清洗液。

該殘留液體清除室1的搬入口大小必須嚴格根據被清洗物體P的大小來形成。這是因為需要盡可能提高密閉度來阻止外部氣體的侵入，以確保內部的潔凈空氣區(zone)。

在殼體兩個側面的上下左右角落布置用于向外側殼體4與內側殼體3之間的空間5吸入殘留液體清除室1中使用完畢的空氣的導管的排出口9，從這些排出口9延伸的導管被連接到外部的吸入泵上。對空間5進行排氣時，使空間5的內部壓力在搬出側大于搬入側，由此防止使用完畢的潮濕空氣侵入到超干燥室2中。

超干燥室2內也設置噴嘴7，該噴嘴7夾著被清洗物體P而上下相對設置。超干燥的干燥空氣由超干燥發生裝置供應，例如由日本協和化工株式會社制造的小型(compact)空氣干燥機(省略圖示)供應，并為了緩解壓力變化而設置穩壓罐T，干燥空氣通過導管從所述穩壓罐T供應到干燥空氣入口10，并被儲藏到緩沖罐11中使供應到噴嘴7的干燥空氣變均勻。為了防止外部氣體的侵入超干燥室2形成為可以切斷外部氣體的密封結構，而且從噴嘴7噴射的超干燥的干燥空氣維持恒壓，以此形成室內的超干燥環境。

從殘留液體清除室1被移送到該超干燥環境中的被清洗物體P暴露在從噴嘴7噴射的超干燥的干燥空氣中。

雖然圖中噴嘴7在被清洗物體P的移送路徑的上下方設置成一對，但是根據需要也可以將噴嘴7設置成多級。

這些噴嘴7與被清洗物體P的移送方向相垂直。如果相對于鉛垂方向稍微發生傾斜，就導致超干燥室2內的空氣平衡被破壞，并導致外部氣體侵入而不能維持超干燥環境。

在該超干燥室2中，可以在短時間內用少量干燥空氣干燥被清洗物體P。超干燥的干燥空氣在大氣壓下的露點溫度是-80℃左右，此時含水量約為0.5ppm。該含水量的值可以與高純度氮氣(純度為99.9999％)的含水量相互匹敵。