[發明專利]光刻設備和裝置制造方法

有效

• 申請號: 200710102532.6
• 申請日: 2007-05-14
• 公開（公告）號: CN101075097A
• 公開（公告）日: 2007-11-21
• 發明（設計）人: E·R·盧普斯特拉;J·J·奧坦斯
• 申請（專利權）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01L21/027
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 劉杰;王小衡

1.一種物品支架，其構造成支持針對光刻工藝的物品，所述物品支架包括布置成引導所述物品支架內的熱穩定介質從而為所述物品提供熱穩定的通道配置，其中所述通道配置包括輸入通道結構和輸出通道結構，所述輸入和輸出通道結構被以交替方式布置以提供巢狀配置并通過設置于所述物品支架表面上或附近的精細柵格結構而相互連接。

2.權利要求1所述的物品支架，其中所述精細柵格結構包括致密微通道結構、包括分隔上壁和下壁的多個分隔引腳的引腳結構、多孔結構，或者它們的任意組合。

3.權利要求1或2所述的物品支架，其中所述輸入和輸出通道結構設置為粗略柵格配置。

4.權利要求1或2所述的物品支架，其中所述輸入和輸出通道結構設置為與所述精細柵格結構相比更遠離所述物品。

5.權利要求4所述的物品支架，其中所述輸入和輸出通道結構設置于隔熱材料內，且所述精細柵格結構設置于導熱材料內。

6.權利要求5所述的物品支架，其中所述隔熱材料包括Zerodur、ULE、堇青石或其任意組合，所述導熱材料包括SiSiC、SiC或二者。

7.權利要求1或2所述的物品支架，其中所述輸入通道結構、所述輸出通道結構、或二者的通道寬度大于所述精細柵格結構的通道寬度。

8.權利要求1或2所述的物品支架，其中所述巢狀配置包括外圍輸入流通道和外圍輸出流通道的巢狀梳式配置，所述外圍輸入和輸出流通道分支形成布置成巢狀梳齒的輸入和輸出流通道。

9.權利要求8所述的物品支架，其中所述精細柵格結構包括與所述梳齒橫切的基本上平行的通道。

10.權利要求1或2所述的物品支架，其中所述巢狀配置包括徑向取向的輸入流通道和徑向取向的輸出流通道，所述徑向輸入和輸出流通道分支形成交替布置成同心的輸入和輸出流通道。

11.權利要求10所述的物品支架，其中所述精細柵格結構包括橫切所述同心的輸入和輸出流通道的徑向通道。

12.權利要求1或2所述的物品支架，其中所述輸入和輸出通道結構包括剖面寬度大于1mm的通道，其中所述精細柵格結構包括剖面寬度不大于1mm的通道，或兩者都滿足。

13.一種光刻設備，包括：

投影系統，配置成把構圖裝置圖案化的輻射束投影到襯底的目標部分；以及

物品支架，構造成支持所述構圖裝置、所述襯底或二者，所述物品支架包括布置成引導所述物品支架內的熱穩定介質從而為所述構圖裝置、所述襯底或二者提供熱穩定的通道配置，其中所述通道配置包括輸入通道結構和輸出通道結構，所述輸入和輸出通道結構被以交替方式布置以提供巢狀配置并通過設置于所述物品支架表面上或附近的精細柵格結構而相互連接。

14.權利要求13所述的光刻設備，其中所述巢狀配置包括外圍輸入流通道和外圍輸出流通道的巢狀梳式配置，所述外圍輸入和輸出流通道分支形成布置成巢狀梳齒的輸入和輸出流通道。

15.權利要求13所述的光刻設備，其中所述巢狀配置包括徑向取向的輸入流通道和徑向取向的輸出流通道，所述徑向輸入和輸出流通道分支形成交替布置成同心的輸入和輸出流通道。

16.權利要求13所述的光刻設備，其中所述輸入和輸出通道結構設置為與所述精細柵格結構相比更遠離所述構圖裝置，所述襯底或二者。

17.權利要求13至16中任一項所述的光刻設備，其中所述輸入和輸出通道結構包括剖面寬度大于1mm的通道，其中所述精細柵格結構包括剖面寬度不大于1mm的通道，或兩者都滿足。

18.一種浸漬光刻設備，包括：

投影系統，配置成把構圖裝置圖案化的輻射束投影到襯底的目標部分；

液體供給系統，配置成將液體供給到所述襯底和所述投影系統之間；以及

物品支架，構造成支持所述構圖裝置、所述襯底或二者，所述物品支架包括布置成引導所述物品支架內的熱穩定介質從而為所述構圖裝置、所述襯底或二者提供熱穩定的通道配置，其中所述通道配置包括輸入通道結構和輸出通道結構，所述輸入和輸出通道結構被以交替方式布置以提供巢狀配置并通過設置于所述物品支架表面上或附近的精細柵格結構而相互連接。