[發(fā)明專利]三代像增強(qiáng)器的制作方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710098589.3
• 申請日: 2007-04-20
• 公開（公告）號: CN101055825A
• 公開（公告）日: 2007-10-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張少輝;賈欣志;田金生;辛福學(xué);卡瑪良－俄迪科;卡瑪良－謝爾蓋
• 申請（專利權(quán)）人: 吉林東亞夜視有限公司
• 主分類號: H01J9/00
• 分類號: H01J9/00
• 代理公司: 北京同匯友專利事務(wù)所
• 代理人: 張雅軍;高云瑞

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及電真空技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種夜視系統(tǒng)中像增強(qiáng)器的制作方法。

背景技術(shù)

使用砷化鎵光電陰極的三代像增強(qiáng)器是當(dāng)前夜視系統(tǒng)中優(yōu)先選用的核心成像器件。該產(chǎn)品質(zhì)量直接決定著夜視系統(tǒng)的整體性能，通過特種制作方法提高該產(chǎn)品的質(zhì)量已經(jīng)成為眾多研究者們關(guān)注的焦點問題。

目前常用的三代像增強(qiáng)器的制作方法是：定期將熒光屏組件通過加載閘門室送入超高真空室中，進(jìn)行密閉去氣和電子轟擊清洗后送入裝配超高真空室；定期將GaAs(砷化鎵)光電陰極組件通過加載閘門室送入超高真空室中進(jìn)行密閉預(yù)去氣；然后將光電陰極組件送入相臨的超高真空室進(jìn)行批量最終清洗和敏化處理，形成光電陰極后送入裝配超高真空室；在裝配超高真空室中將光電陰極和熒光屏組件進(jìn)行組裝處理后送入密封超高真空室，進(jìn)行批量密封焊接處理，形成真空管；最后將加工好的真空管送入卸載閘門室，并從該閘門室批量卸載。

上述方法有效排除了GaAs光電陰極形成室內(nèi)氣壓的下降和波動，有利于光電陰極與熒光屏組件的組裝。但是，該方法存在以下缺點：

1、該方法對超高真空室中的大氣壓強(qiáng)要求非常低，要低于10^-11帕斯卡才可以正常工作，因此，真空室除氣過程所需的時間長，導(dǎo)致產(chǎn)品生產(chǎn)效率低；

2、采用該方法，真空室中的空氣不易排除徹底，當(dāng)提高室內(nèi)溫度時，剩余的氧分子，含氧氣體及水蒸氣與光電陰極表面會發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，容易產(chǎn)生不合格產(chǎn)品。據(jù)統(tǒng)計，采用該方法，產(chǎn)品合格率通常只有30％。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種既可以提高生產(chǎn)效率又可以提高產(chǎn)品合格率的三代像增強(qiáng)器的制作方法。

本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的：

本發(fā)明所提供的使用砷化鎵光電陰極的三代像增強(qiáng)器的制作方法，是將各個工作室用惰性氣體置換空氣，當(dāng)各個工作室內(nèi)的大氣壓強(qiáng)不高于預(yù)定值后，進(jìn)行像增強(qiáng)器的生產(chǎn)加工。

該方法包括如下步驟：

A、將工作室中的各個超高真空室和卸載閘門室用惰性氣體置換空氣，并使所述超高真空室和卸載閘門室中的大氣壓強(qiáng)均不高于所述預(yù)定值；

B、將熒光屏組件送入工作室中的熒光屏組件加載閘門室，然后向該閘門室中通入惰性氣體置換空氣；當(dāng)該閘門室中的大氣壓強(qiáng)不高于所述預(yù)定值后，打開閘門，將所述熒光屏組件送入與該閘門室相鄰的超高真空室進(jìn)行密閉除氣和電子轟擊清洗處理；然后將所述熒光屏組件送入組裝真空室；

C、將光電陰極組件送入工作室中的光電陰極組件加載閘門室，然后向該閘門室中通入惰性氣體置換空氣；當(dāng)該閘門室中的大氣壓強(qiáng)不高于所述預(yù)定值后，打開閘門，將所述光電陰極組件送入與該閘門室相鄰的超高真空室進(jìn)行密閉預(yù)除氣處理，然后將光電陰極組件送入相鄰的超高真空室進(jìn)行批量最終清洗和敏化處理形成光電陰極，最后將所述光電陰極送入所述組裝真空室；

D、將所述組裝真空室中的熒光屏組件和光電陰極進(jìn)行組裝處理后送入密封超高真空室，進(jìn)行批量密封焊接處理，形成真空管；

E、將所述真空管送入卸載閘門室，并從該閘門室批量卸載。

由上述本發(fā)明提供的技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明的核心思想是：在生產(chǎn)裝置啟動前，熒光屏組件最終清洗，光電陰極組件最終清洗和形成，以及真空管殼的組裝，都是在用惰性氣體(氬氣，氦氣等)完全置換了室內(nèi)氣體的情況下進(jìn)行的。

本發(fā)明的有益效果在于：

1.采用惰性氣體置換各個工作室中的空氣，工作室中的大氣壓強(qiáng)不高于10^-8帕斯卡時便可以正常工作，真空室的除氣過程大大縮短，從而提高了產(chǎn)品生產(chǎn)效率；

2.真空室除氣徹底，大大減少氧分子、水蒸氣的含量，三代像增強(qiáng)器的生產(chǎn)加工過程中發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的幾率大大降低，因此，產(chǎn)品合格率將大大提高。

附圖說明

圖1為實現(xiàn)本發(fā)明所述方法的生產(chǎn)裝置。

該生產(chǎn)裝置共有12個工作室，其中：1.熒光屏組件加載閘門室，2、3、5、6、7、8.超高真空室，4.光電陰極組件加載閘門室，9.卸載閘門室。

具體實施方式

為對本發(fā)明有進(jìn)一步的了解，下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明所述的方法進(jìn)行詳細(xì)的說明。

本發(fā)明所述方法的具體實現(xiàn)方式包括以下步驟：

步驟1：在生產(chǎn)像增強(qiáng)器產(chǎn)品前，將工作室中的超高真空室2、3、5、6、7、8及卸載閘門室9用惰性氣體(比如：氬氣、氦氣等)置換空氣，并使這些超高真空室和閘門室9中的大氣壓強(qiáng)均不高于預(yù)定值；