[發明專利]曝光裝置及曝光方法

有效

• 申請號: 200710097997.7
• 申請日: 2007-04-29
• 公開（公告）號: CN101105635A
• 公開（公告）日: 2008-01-16
• 發明（設計）人: 厚見辰則;近藤俊之;中村剛
• 申請（專利權）人: 日本精工株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03B27/14
• 代理公司: 北京泛誠知識產權代理有限公司
• 代理人: 楊本良;文琦

技術領域

本發明涉及適用于將掩模的掩模圖案以分割逐次曝光方式接近(靠近)曝光轉印到液晶顯示器或等離子顯示器等大型平板顯示器的基板上的曝光裝置及曝光方法。

背景技術

以前，對制造液晶顯示器裝置或等離子顯示器裝置等平板顯示器裝置的彩色濾光片的曝光裝置進行了各種提案(例如，參見日本專利文獻1)。記載在專利文獻1中的曝光裝置使用比作為被曝光件的基板小的掩模，用掩模裝載臺保持該掩模并用工件裝載臺保持基板，使兩者接近地相對配置。而且，在該狀態下使基板和掩模相對移動(一般移動基板)，在每步中從掩模側向基板照射圖案曝光用的光，由此將設在掩模上的掩模圖案曝光轉印到基板上的多個部位，從而制成顯示器等。

在上述那樣的曝光裝置中，例如，在使基板相對掩模進行步進移動時，通常，在已使基板下降或使掩模上升之后，進行步進移動，之后，使基板上升或使掩模下降，以進行曝光時的間隙調整。例如，如圖24所示，當規定位置的曝光轉印結束時(步驟S101)，例如輸送機構的工件裝載臺動作，基板沿垂直方向下降(Z軸退避)??(步驟S102)。接著，沿水平方向(XY方向)步進移動輸送機構(步驟S103)、以使基板位于下個曝光位置，之后，使工件裝載臺沿垂直方向上升(Z軸上升)(步驟S104)，直到基板與掩模之間的間隙達到所需的間隙量。而且，進行間隙調整及對準調整(步驟S105)，進行下次曝光轉印。

專利文獻1：特開平9-127702號公報

發明內容

可是，這種曝光轉印時的動作雖然沒有基板和掩模接觸而導致掩模破損的擔憂、安全性高，但是在使基板沿垂直方向下降及上升的動作中花費時間，會給生產量帶來不能忽略的影響。

本發明就是鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供一種能在確保安全性的同時進行短時間內的步進動作，從而能使生產量提高的曝光裝置及曝光方法。

本發明的上述目的通過以下結構實現。

(1)一種曝光裝置，具有保持作為被曝光件的基板的工件裝載臺；與基板相對配置并保持掩模的掩模裝載臺；將圖案曝光用的光通過掩模照射到基板的照射單元；使工件裝載臺和掩模裝載臺中的一個相對另一個沿水平方向及垂直方向相對移動、以使掩模的掩模圖案與基板上的多個規定位置相對的輸送機構；及控制輸送機構的控制裝置，其特征在于，控制裝置控制輸送機構，以使輸送機構的水平方向的相對移動和垂直方向的相對移動同步。

(2)根據(1)記載的曝光裝置，其特征在于，輸送機構具有用于沿水平方向移動工件裝載臺的馬達；在水平方向的相對移動中，控制裝置根據馬達的狀態信號控制輸送機構，以開始掩模和基板相互接近的垂直方向的相對移動。

(3)根據(2)記載的曝光裝置，其特征在于，在水平方向的相對移動中，當馬達的旋轉速度減速到規定速度以下時，控制裝置控制輸送機構，以開始掩模和基板相互接近的垂直方向的相對移動。

(4)根據(1)～(3)中任一項記載的曝光裝置，其特征在于，控制裝置控制輸送機構，以在到比曝光時的掩模和基板間的曝光間隙大的第一間隙之前，使水平方向的相對移動與掩模和基板相互接近的垂直方向的相對移動同步，而且，從第一間隙到曝光間隙，僅進行掩模和基板相互進一步接近的垂直方向的相對移動。

(5)根據(1)～(3)中任一項記載的曝光裝置，其特征在于，控制裝置控制輸送機構，以從曝光時的掩模和基板間的曝光間隙到比曝光間隙大的第二間隙，僅進行掩模和基板相互遠離的垂直方向的相對移動，而且，越過第二間隙之后，使水平方向的相對移動與掩模和基板相互進一步遠離的垂直方向的相對移動同步。

(6)使用(1)～(3)記載的曝光裝置的曝光方法，其特征在于，輸送機構使水平方向的相對移動和垂直方向的相對移動同步地進行。

根據本發明，由于控制裝置控制輸送機構，以使輸送機構的水平方向的相對移動和垂直方向的相對移動同步，所以能在確保安全性的同時進行短時間內的步進動作，從而能縮短曝光動作的間隔時間，由此，能提高生產率。

附圖說明

圖1為部分分解根據本發明第一實施方式的分割逐次接近曝光裝置的透視圖。

圖2為掩模裝載臺部分的放大透視圖。

圖3(a)為圖2的III-III線剖視圖，圖3(b)為圖3(a)的掩模位置調整機構的頂視圖。

圖4為說明工件側對準標記的照射光學系統用的說明圖。

圖5為表示對準圖像的焦距調整機構的構成圖。

圖6為表示對準攝像機與該對準攝像機的焦點調整機構的基本構造的側視圖。