[發明專利]光致抗蝕劑組合物

無效

• 申請號: 200710096933.5
• 申請日: 2007-04-19
• 公開（公告）號: CN101071266A
• 公開（公告）日: 2007-11-14
• 發明（設計）人: 金東敏;金柄郁;樸大然;金周赫;崔基植;金貞元;李起范;卞哲基;金紋秀;金炳厚;邊滋勛;申在浩
• 申請（專利權）人: 株式會社東進世美肯
• 主分類號: G03F7/016
• 分類號: G03F7/016;G03F7/004
• 代理公司: 北京金信立方知識產權代理有限公司
• 代理人: 朱梅;徐志明

技術領域

本發明涉及一種用于制造液晶顯示裝置的電路、半導體集成電路等微細電路的光致抗蝕劑組合物，具體地涉及一種通過加入可提高光致抗蝕劑的耐熱性及分辨率的酚醛清漆樹脂，以獲得具有優異均勻性及粘合性圖案的光致抗蝕劑組合物。

背景技術

為形成液晶顯示裝置的電路或半導體集成電路等微細電路的圖案，首先在基板上的絕緣膜或金屬導電膜上均勻地涂敷光致抗蝕劑組合物。然后，通過使用預定形狀的掩膜，使光致抗蝕劑覆膜曝光、顯影而形成預定形狀的圖案。之后，使用掩膜對金屬膜或絕緣膜進行蝕刻，除去殘留的光致抗蝕劑膜，以在基板上形成微細電路。上述涂敷工序使用旋轉式涂敷法或狹縫式涂敷法。

通常，光致抗蝕劑組合物包含高分子樹脂、感光性化合物及溶劑。直至目前，進行諸多努力，試圖改善利用光致抗蝕劑組合物而形成的光致抗蝕劑膜的涂敷均勻性、感光速度、顯影對比度、分辨率、與基板的粘合力、殘膜率、電路線寬均勻性及人體安全性等。

例如，美國專利第3666473號公開了兩種酚醛清漆樹脂混合物和典型的感光性化合物，美國專利第4115128號公開了為增加感光速度，在酚醛樹脂(phenolic?resin)和重氮萘醌(naphthoquinone?diazide)光敏劑中添加有機酸環酐的組合物，美國專利第4550069號公開了一種為增加感光速度，提高人體安全性，使用酚醛清漆樹脂、鄰醌二疊氮化物(ortho-quinone?diazide)感光性化合物及作為溶劑使用丙二醇烷基醚乙酸酯(propyleneglycol?alkyl?etheracetate)的光致抗蝕劑組合物。

盡管如此，仍需要開發出不僅能夠同時滿足感光速度、殘膜率、半曝光部分的殘膜均勻性、顯影對比度、分辨率、高分子樹脂的溶解性、與基板的粘合力及電路線寬均勻性等光致抗蝕劑組合物任何一種性能要求，還能適于在不同工藝中使用的不同的光致抗蝕劑組合物。

發明內容

本發明是鑒于上述問題而提出的。其目的在于，提供一種經過涂敷工序后微細電路線條成型性能優異，且在硬烘(hard?bake)之后圖案的均勻性及耐熱性優異的光致抗蝕劑組合物。

本發明的另一目的在于，提供一種能夠提高光致抗蝕劑膜的感光速度、殘膜率、顯影對比度、分辨率、高分子樹脂的溶解性、與基板的粘合力及電路線寬均勻性的光致抗蝕劑組合物。

本發明的另一目的在于，提供一種利用上述光致抗蝕劑組合物制造的液晶顯示裝置或半導體元件。

為實現上述目的，本發明所提供的光致抗蝕劑組合物包含(a)由下述化學式1表示的酚醛清漆樹脂(novolak?resin)、(b)重氮類感光性化合物(diazideseries?photosensitive?compound)、(c)有機溶劑。

化學式1

在上述化學式1中，R表示氫、羥基或甲基，n是3至20的整數。

而且，本發明提供了一種利用上述光致抗蝕劑組合物制造的液晶顯示裝置或半導體元件。

本發明所涉及的光致抗蝕劑組合物，由于使用了加入間苯二酚的酚醛清漆樹脂，因而在硬烘工序之后仍具有優異的耐熱性，且同時具有優異的分辨率、感光速度、殘膜率、顯影對比度、與基板的粘合性及電路線寬均勻性。因此，適于在工業生產中使用，而且在進行批量生產時，因其能夠節省使用量，縮短批量生產時間，可有效地改善生產效率。

具體實施方式

下面，利用實施例詳細說明本發明。

本申請的發明人在不斷研究光致抗蝕劑組合物的過程中發現，如果向光致抗蝕劑組合物中加入由包含間甲酚、對甲酚、間苯二酚的芳香族醇聚合而成的酚醛清漆樹脂，不僅可以提高光致抗蝕劑膜的耐熱性，而且還能提高分辨率。于是基于上述發現，完成了本發明。

本發明所涉及的光致抗蝕劑組合物包括(a)由化學式1表示的酚醛清漆樹脂、(b)重氮類感光性化合物、(c)有機溶劑。

本發明所涉及的光致抗蝕劑組合物中，(a)酚醛清漆樹脂是將包含間甲酚、對甲酚及間苯二酚的芳香族醇與甲醛進行縮合反應而合成的高分子聚合物，其重均分子量優選為2000～10000。

其中，根據上述(a)酚醛清漆樹脂的合成原料——間甲酚、對甲酚及間苯二酚的混合比，本發明的光致抗蝕劑的物理特性(感光速度、殘膜率等)有所不同。具體而言，上述(a)酚醛清漆樹脂優選由間甲酚、對甲酚、間苯二酚的重量比為2～7∶2～7∶0.5～5的芳香族醇聚合而成。