[發(fā)明專利]光致抗蝕劑組合物

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710096933.5
• 申請(qǐng)日: 2007-04-19
• 公開（公告）號(hào): CN101071266A
• 公開（公告）日: 2007-11-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金東敏;金柄郁;樸大然;金周赫;崔基植;金貞元;李起范;卞哲基;金紋秀;金炳厚;邊滋勛;申在浩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社東進(jìn)世美肯
• 主分類號(hào): G03F7/016
• 分類號(hào): G03F7/016;G03F7/004
• 代理公司: 北京金信立方知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 朱梅;徐志明

1.一種光致抗蝕劑組合物，其特征在于，該組合物包含：

a)由下述化學(xué)式1表示的酚醛清漆樹脂；

b)重氮類感光性化合物；

c)有機(jī)溶劑，

化學(xué)式1

在上述化學(xué)式1中，R表示氫、羥基或甲基，n是3至20的整數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光致抗蝕劑組合物，其特征在于：

所述酚醛清漆樹脂由芳香族醇聚合而成，且重均分子量為2000～10000，所述芳香族醇中，間甲酚、對(duì)甲酚、間苯二酚的重量比為2～7∶2～7∶0.5～5。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光致抗蝕劑組合物，其特征在于，該組合物包含：

a)5～30重量％的所述酚醛清漆樹脂；

b)2～10重量％的所述重氮類感光性化合物；

c)余量的所述有機(jī)溶劑。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光致抗蝕劑組合物，其特征在于：

所述重氮類感光性化合物中，2，3，4-三羥基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯和2，3，4，4’-四羥基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯的重量比為4～6∶6～4。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光致抗蝕劑組合物，其特征在于：

所述有機(jī)溶劑是選自丙二醇甲醚乙酸酯、乳酸乙酯、2-甲氧基乙基乙酸酯、丙二醇單甲醚中的至少一種溶劑。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光致抗蝕劑組合物，其特征在于：

該組合物進(jìn)一步包含0.1～10重量％靈敏度增進(jìn)劑，其為選自2，3，4-三羥基二苯甲酮、2，3，4，4’-四羥基二苯甲酮、2，3，4，3`，4`，5-六羥基二苯甲酮、丙酮-連苯三酚縮合物、4，4-[1-[4-[1，(1，4-羥基苯基)-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚、4，4-[[2-羥基苯基]亞甲基]雙[2，6-二甲基苯酚]中的至少一種化合物。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光致抗蝕劑組合物，其特征在于：

進(jìn)一步包含選自著色劑、染色劑、防痕劑、增塑劑、增粘劑、加速劑及表面活性劑中的至少一種添加劑。

8.一種半導(dǎo)體元件，其特征在于：

利用如權(quán)利要求1至7中任何一項(xiàng)所述的光致抗蝕劑組合物制造。