[發明專利]用于集成電路生產線的AMHS系統及其實現方法

有效

• 申請號: 200710094148.6
• 申請日: 2007-10-16
• 公開（公告）號: CN101414170A
• 公開（公告）日: 2009-04-22
• 發明（設計）人: 周百鈞
• 申請（專利權）人: 上海華虹NEC電子有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司
• 代理人: 顧繼光

技術領域

本發明涉及一種自動控制系統，尤其涉及一種用于集成電路生產線的AMHS系統(Automatic?Material?Handling?System，自動物流系統)；此外，本發明還涉及上述用于集成電路生產線的AMHS系統的實現方法。

背景技術

如圖1所示，傳統的用于集成電路生產線的AMHS系統，包括HOST主機系統(AMHS的中央計算機控制系統，通常由多臺服務器構成，用于對全廠的生產設備及工藝流程實行自動控制及運行管理)、ONLINE終端(工廠自動化系統的通訊終端，圖1中的FCT/CT1、FCT/AGV、FCT/STC均為ONLINE終端)、STOCKER(自動倉儲柜，用于制品的存儲和調度)、CSM(STOCKER的主控計算機)、AGV(自動導航車，用于實現制品的自動搬送)、AGVC(AGV的主控計算機)和EQ(生產設備)，ONLINE終端是連接HOST主機系統和生產設備的計算機，STOCKER的主控計算機直接與ONLINE終端連接，AGV通過AGVC與HOST主機系統連接。

由于工廠流水線上的制品流量是動態變化的，AMHS的HOST主機系統難以根據現場狀況及時作出自我調整，使得整個流水線的效率低下。為提高AMHS控制系統的運行效率，可通過開發HOST主機系統的軟件來達到所需效果，但此方法成本高昂，開發時間長且風險大。目前在提高AMHS系統效率方面主要有以下方法：

1.實時調整搬送指令的執行方式(搬送路徑，執行順序等)(相關專利：United?States?Patent?6615093；United?States?Patent?6647316)；

2.增加設備端的制品緩存(相關專利：United?States?Patent6726429)；

3.實時調整STOKCER庫存(相關專利：United?States?Patent7099739)

但以上方法都不能有效解決指令等待時間過長的問題。

發明內容

本發明要解決的技術問題是提供一種用于集成電路生產線的AMHS系統，提高了搬送效率，減少搬送指令的等待時間，縮短TAT(制品生產周期)時間和制品調度時間。為此，本發明還提供一種上述AMHS系統的實現方法。

為解決上述技術問題，本發明提供一種用于集成電路生產線的AMHS系統，包括HOST主機系統、ONLINE終端、自動倉儲柜、自動導航車和生產設備，ONLINE終端是連接HOST主機系統和生產設備的計算機，自動倉儲柜與ONLINE終端連接，自動導航車通過其主控計算機與HOST主機系統連接，在自動倉儲柜的主控計算機及ONLINE終端之間增加通訊監控終端。

所述的通訊監控終端是一臺通訊監控計算機。

所述的通訊監控終端與ONLINE終端、自動倉儲柜的主控計算機之間通過局域網或串口進行連接。

本發明還提供一種用于集成電路生產線的AMHS系統的實現方法，包括如下步驟：首先，當生產設備可加工制品時，向HOST主機系統發送制品加載要求；接著，HOST主機系統在數據庫中查找合適的制品，并將相應制品的狀態設為等待搬送；然后，在設定的觸發條件下，HOST主機系統將搬送指令發給自動倉儲柜的主控計算機和自動導航車的主控計算機；最后，自動倉儲柜的主控計算機和自動導航車的主控計算機收到指令后指揮協調系統內的工業機器人將制品搬送至相應生產設備；該方法還包括通訊監控終端的監控步驟，具體如下：(1)通訊監控終端對自動倉儲柜收到的搬送指令進行監控，向HOST主機系統發出虛擬的設備狀態報告，使HOST主機系統進入可以向該自動倉儲柜發送搬送指令的狀態；(2)向HOST主機系統發送虛擬的指令觸發報告，促使HOST主機系統向自動倉儲柜發出搬送指令；(3)當自動倉儲柜收到的指令數量達到一定值后，通訊監控終端停止發送步驟(1)、(2)中的虛擬報告；(4)當自動倉儲柜的指令數量減少到一定值后，通訊監控終端重復步驟(1)、(2)、(3)。

步驟(1)中，所述虛擬的設備狀態報告包括“搬送可能”、“出庫可能”。

步驟(2)中，所述虛擬的指令觸發報告包括“搬入完了”，“入庫報告”，“出庫可能”，“棚狀態變更”，“停止制品解除”，“棚狀態變更”，“人工主搬送指示”，“滿棚解除報告”。