[發明專利]半導體器件測試圖形交互式布局的方法

有效

• 申請號: 200710094055.3
• 申請日: 2007-08-31
• 公開（公告）號: CN101377530A
• 公開（公告）日: 2009-03-04
• 發明（設計）人: 張興洲
• 申請（專利權）人: 上海華虹NEC電子有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00;G01R31/26;G01R31/28;G01R31/3183
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司
• 代理人: 丁紀鐵

技術領域

本發明涉及一種半導體器件測試圖形布局的方法。?

背景技術

在集成電路制造中，追求成本的節省和對器件質量的高要求等促使制造商不斷進行新工藝的開發。在新工藝開發中，版圖設計者會設計很多單個器件(cell)的測試圖形，設計完畢后需要將它們排布成一整個完整的芯片，由于這些測試圖形的最大邊界尺寸沒有什么規律，所以設計者要花費很多時間來對它們進行手動排布，在此排布的對象是由測試圖形的最大邊界決定的矩形。排布完之后可以將最終數據導出GDSII數據，用于制作掩模板。?

發明內容

本發明要解決的技術問題是提供一種半導體器件測試圖形交互式布局的方法，其能對由測試圖形的最大邊界決定的矩形進行自動排布。?

為解決上述技術問題，本發明的半導體器件測試圖形交互式布局的方法，包括如下步驟：?

(1)通過手動版圖編輯工具的坐標轉換接口，獲取待排布的器件測試圖形本身的矩形左下角坐標(x1，y1)和右上角坐標(x2，y2)，后根據不同矩形在坐標系中所具有的旋轉和鏡像的屬性進行矩陣坐標變換，并對每個矩形的長寬各放大一設定的尺寸，得到新的左下角坐標(x1′，y1′)?和右上角坐標(x2′，y2′)；?

(2)根據步驟(1)獲取的坐標，利用排布程序對所有矩形進行排布，比較各種排布圖形的形狀和尺寸，輸出一形狀最接近正方形且尺寸最小的排布圖形的矩形陣列；?

(3)將排好后的矩形陣列中，將步驟(1)中做過矩陣變換的矩形作逆向矩陣變換，并將步驟(1)中放大的尺寸減去，輸出新的矩形坐標；?

(4)根據步驟(3)輸出的矩形坐標，求出各個矩形的x軸方向的偏移量和y軸方向的偏移量，并更新手動版圖編輯工具中相應的測試圖形的矩形坐標。?

本發明的測試圖形布局的方法，通過手動版圖編輯工具的坐標轉換接口和排布程序，實現對器件測試圖形的交互式布局，避免了原有技術中排測試圖形時繁瑣的手動版圖編輯。?

附圖說明

下面結合附圖與具體實施方式對本發明作進一步詳細的說明：?

圖1為本發明的方法流程示意圖；?

圖2為本發明的矩陣變化示意圖；?

圖3為本發明的排布原理示意圖；?

圖4為本發明的一個具體排布圖形示意圖。?

具體實施方式

本發明的方法通過一個手動版圖編輯工具的坐標轉換接口和一個基于C語言的矩形排布程序完成。本發明中要排布的矩形由測試圖形的最大邊界決定，因測試圖形尺寸各不相同，故由此決定的矩形也各不相同。手?動版圖編輯工具的坐標轉換接口的輸入為需要進行矩陣變換的矩形的左下角和右上角的坐標，它的輸出為矩陣變換后的矩形的左下角和右上角的坐標。而矩形排布程序的輸入為矩形陣列的左下角和右上角的坐標，它的輸出為排好以后的矩形陣列的左下角和右上角的坐標。如圖1所示，本發明的圖形排布通過矩形圖形的坐標轉換來實現。?

本發明的方法包括以下步驟：?

(1)首先通過手動版圖編輯工具的坐標轉換接口，獲取所有待排布的矩形測試圖形的左下角坐標(x1，y1)和右上角的坐標(x2，y2)，并進行矩陣變換。進行矩陣變換是為了考慮到測試圖形(cellview)在坐標系中所具有的旋轉和鏡像的屬性的因素，需要進行矩陣變換。另外，將變換后的左下角x軸和y軸坐標各減去5um，右上角x軸和y軸坐標各加上5um，以在圖形之間空開10um的距離。變換矩陣可以定義為鏡像矩陣和旋轉矩陣兩部分組成，整個坐標變換矩陣＝鏡像矩陣×旋轉矩陣，鏡像和旋轉形成的組合總共有8種情況(詳見表1)，圖2為8種變換情況的示意圖：?