[發明專利]半導體器件測試圖形交互式布局的方法

有效

• 申請號: 200710094055.3
• 申請日: 2007-08-31
• 公開（公告）號: CN101377530A
• 公開（公告）日: 2009-03-04
• 發明（設計）人: 張興洲
• 申請（專利權）人: 上海華虹NEC電子有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00;G01R31/26;G01R31/28;G01R31/3183
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司
• 代理人: 丁紀鐵

1.一種半導體器件測試圖形交互式布局的方法，用于將多個尺寸不同的器件的矩形測試圖形排布成一整個芯片，其特征在于，該方法包括以下步驟：

(1)通過手動版圖編輯工具的坐標轉換接口，獲取待排布的器件測試圖形本身的矩形左下角坐標(x1，y1)和右上角坐標(x2，y2)，后根據不同矩形在坐標系中所具有的旋轉和鏡像的屬性進行矩陣坐標變換，并對每個矩形的長寬各放大一設定的尺寸，得到新的左下角坐標(x1′，y1′)和右上角坐標(x2′，y2′)；

(2)根據步驟(1)獲取的新的左下角坐標和右上角坐標，利用排布程序對所有矩形進行排布，比較各種排布圖形的形狀和尺寸，輸出一形狀最接近正方形且尺寸最小的排布圖形的矩形陣列；

(3)將排好后的矩形陣列中，將步驟(1)中做過矩陣變換的矩形作逆向矩陣變換，并對將步驟(1)中放大的尺寸減去，輸出新的矩形坐標；

(4)根據步驟(3)輸出的矩形坐標，求出各個矩形的x軸方向的偏移量和y軸方向的偏移量，并更新手動版圖編輯工具中相應的測試圖形的矩形坐標。

2.按照權利要求1所述的方法，其特征在于：所述步驟(1)中的矩陣坐標變換為鏡像矩陣變換和旋轉矩陣變換的乘積，鏡像矩陣變換分為X軸鏡像變換和Y軸鏡像變換，旋轉矩陣變換分為逆時針轉90°變換，逆時針轉180°變換，逆時針轉270°變換。

3.按照權利要求1所述的方法，其特征在于：步驟(2)排布的規則為對所述矩形測試圖形作各種排布圖形，比較每個排布圖形之間的尺寸和形狀，輸出一形狀最接近正方形且尺寸最小的排布圖形，且由所述排布圖形的最大邊界構成的矩形的長寬比在0.9～1.1之間。