[發明專利]液滴噴出裝置及其運轉方法

有效

• 申請號: 200710091049.2
• 申請日: 2007-04-06
• 公開（公告）號: CN101054024A
• 公開（公告）日: 2007-10-17
• 發明（設計）人: 前川勉;藤井秀俊;飛田悟;町田治
• 申請（專利權）人: 理光打印系統有限公司
• 主分類號: B41J2/175
• 分類號: B41J2/175;B41J2/18;B41J2/01;B05C5/02;B05C11/10;G02F1/1339
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司
• 代理人: 張敬強

1.一種液滴噴出裝置，其特征在于，具備：

具有容納了涂覆液的罐的盒部；

使上述涂覆液成為液滴噴出到被附著體上的頭部；

通過將上述罐中的涂覆液供給上述頭部，并使通過了該頭部的涂覆液返回上述罐，從而使涂覆液循環的涂覆液供給循環部；

經由上述涂覆液供給循環部將清洗液供給上述頭部的清洗液供給部；

從上述涂覆液供給循環部的一部分排出廢液的廢液排出部；以及

在用從上述清洗液供給部供給的清洗液清洗上述涂覆液供給循環部及上述頭部時，以加壓氣體對上述清洗液供給部內加壓，在通過上述涂覆液供給循環部使涂覆液循環時，對上述罐內進行減壓的壓力切換部，并且

上述盒部連接成對上述涂覆液供給循環部可以更換。

2.根據權利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于，

上述盒部設有多個具有上述罐的盒，各盒對上述涂覆液供給循環部可切換地并列連接。

3.一種液滴噴出裝置，其特征在于，具備：

具有容納了涂覆液的罐的盒部；

使上述涂覆液成為液滴噴出到被附著體上的頭部；

通過將上述罐中的涂覆液供給上述頭部，并使通過了該頭部的涂覆液返回上述罐，從而使涂覆液循環的涂覆液供給循環部；

經由上述涂覆液供給循環部將清洗液供給上述頭部的清洗液供給部；

從上述涂覆液供給循環部的一部分排出廢液的廢液排出部；以及

在用從上述清洗液供給部供給的清洗液清洗上述涂覆液供給循環部及上述頭部時，以加壓氣體對上述清洗液供給部內加壓，在通過上述涂覆液供給循環部使涂覆液循環時，對上述罐內進行減壓的壓力切換部，并且

上述盒部連接成對上述涂覆液供給循環部可以更換，

上述盒部設置在比上述頭部更高的位置，

上述盒部具有將涂覆液供給上述頭部的主罐，和使通過了上述頭部的涂覆液返回的輔罐，

上述主罐和輔罐用上述涂覆液供給循環部的帶移送用泵的罐間移送管連接，

在通過上述涂覆液供給循環部使涂覆液循環時，由上述壓力切換部維持上述輔罐的內壓使其比上述主罐的內壓更低。

4.根據權利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于，

上述頭部設有多個頭，這些多個頭利用頭連接管串連連接。

5.根據權利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于，

上述涂覆液是混合并分散了固體粒子的涂覆液。

6.根據權利要求5所述的液滴噴出裝置，其特征在于，

上述被附著體是液晶用基片，上述固體粒子是保持兩塊液晶用基片的間隙的隔離物。