[發明專利]顯影液組成物

無效

• 申請號: 200710090196.8
• 申請日: 2007-04-16
• 公開（公告）號: CN101290480A
• 公開（公告）日: 2008-10-22
• 發明（設計）人: 劉大銘;李晏成;陳俊廷
• 申請（專利權）人: 明德國際倉儲貿易（上海）有限公司
• 主分類號: G03F7/32
• 分類號: G03F7/32
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 周長興

技術領域

本發明是關于一種光阻劑(Photoresist)的顯影液(Developer)組成物，尤其是指一種高濃度顯影液的組成物(Developer)，其可運用在集成電路(IC)、印刷電路板(PCB)、液晶顯示器(LCD)或彩色濾光片(CF)的領域上，特別適用于彩色濾光片用光阻劑的顯影用途上。

背景技術

一般在集成電路、印刷電路板和液晶顯示器等制備工藝中，為獲致精細圖像，常利用光阻劑等放射線敏感組成物以涂布方式在基材上形成薄膜，經過放射線照射后，以堿性顯影液顯像，來除去不要的涂膜部分，以獲致良好的圖像。

常用的顯影方法有浸漬顯影、搖動顯影、噴灑顯影和靜置顯影等技術。由于一般光阻劑是由堿可溶性樹脂，例如：酚醛樹脂(Novolac)、壓克力樹脂、聚對-羥基苯乙烯等，搭配不同的放射線敏感物質以形成正型或負型光阻劑。在經過放射線照射后改變原來的溶解度，而可以溶于堿性顯影液中。堿性顯影液中所使用的堿性化合物一般有分為無機堿及有機堿兩大類，一般無機堿可為氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、以及碳酸氫鈉等，一般有機堿可為氫氧化四甲銨或烷醇胺等堿性化合物，都被廣泛使用于顯影液中。

然根據公知顯影液的技術，光阻劑在涂膜并預烤、曝光后，以堿性顯影液來溶解除去未曝光而不要的涂膜部份，顯影的現象產生是因為該光阻劑中含有酸官能基。此等位于有機聚合物基質內的酸基于堿溶液中被中和，而形成水溶性有機聚合物鹽。當所溶解的光阻劑于溶液中累積時，顯影槽中開始形成不溶性有機物質，最后形成水不溶性殘渣或殘留物。此等再沉積的殘留物對于在顯影時卻容易產生未顯影部位粒子或未溶解物的殘存，因此顯影后比較難以形成精確的光阻劑圖像。為了改善上述的缺失，添加界面活性劑可減少形成殘渣(scum)的傾向。如美國專利US7,150,960中就有揭露添加非離子性界面活性劑有降低殘渣的效果。另外，添加界面活性劑有增加顯影速率，提高生產效率的優點。

但是近年來隨著家用平面顯示器的普及化，液晶顯示器用彩色濾光片光阻劑，為了提高色彩對比性和飽和度，彩色光阻劑添加了更多的顏料微粒子，使得顯影時容易隨著殘渣的累積，使顯影槽中被溶解的顏料微粒子或其它的成分等水不溶性殘留物，再沉積回基板或光阻涂膜上，造成彩色濾光片上殘留有殘渣、表面污染等瑕疵。

故目前光阻劑的堿性顯影液的趨勢，除了堿性化合物外，還含有用于增強其清潔力的非離子界面活性劑。目前業界較常使用且具有卓越清潔力的非離子界面活性劑，為環氧烷基類界面活性劑。為了達到最大的清潔力除了單一的環氧烷基類界面活性劑還會使用復數種類的環氧烷基類界面活性劑的混合物，其中包括莫耳數不同的環氧烷基、及不同的環氧烷基，如環氧乙烷或環氧丙烷等。

但此類的堿性顯影液，因為添加了非離子界面活性劑，所以會繼承代表界面活性劑性質之一的濁點(當堿性顯影液的溫度升高或濃度提升時導致該顯影液變成白濁的溫度)。尤其是無機堿類顯影液偶爾會出現以下問題：堿性顯影液可能在儲存或運送過程中受熱而變白濁及分層進而析出，嚴重的是在儲槽中因為分層導致計量的濃度不正確，上下層的濃度及成分比例都不相同，更嚴重的是在輸送的管路中因為溫度的變化分層析出，而在管路的死角中堆積進而堵塞管路。

一般的堿性顯影液在低濃度時不易發現非離子界面活性劑析出分層的現象，一但需配制高濃度的堿性顯影液時，非離子界面活性劑的疏水基團與水的疏水作用大于親水基團的親水作用即會分層進而析出的問題。

故此類的堿性顯影液的濃度會受其濁點的限制，而無法大幅的提高。故常常在此類型的顯影液中有相當部份是溶劑，若試圖提高顯影液的濃度以減少溶劑體積進而減少運費的目的下，嘗試提高顯影液的濃度時，就會有濁點下降至室溫以下，而遭遇到溶解度不佳而分層進而析出的問題。

有一種提高堿性顯影液濁點方式，就是使用具有高濁點的非離子界面活性劑，但加入高濁點的非離子界面活性劑，會有產生其它的副作用，如在光阻膜上會殘存界面活性劑，或是產生殘渣等。

發明內容

本發明的目的在于提供顯影液組成物。

為實現上述目的，本發明提供的顯影液組成物，其包括：

(a)0.1～20份重量的堿性化合物，該堿性化合物的份重量，是以100份重量的該顯影液組成物為基準計算；

(b)0.1～20份重量的非離子性界面活性劑，該非離子性界面活性劑的份重量，是以100份重量的該顯影液組成物為基準計算；

(c)0.1～10份重量的如下式(I)結構的單羧酸化合物：

RCOOR′式(I)