[發明專利]顯影液組成物

無效

• 申請號: 200710090196.8
• 申請日: 2007-04-16
• 公開（公告）號: CN101290480A
• 公開（公告）日: 2008-10-22
• 發明（設計）人: 劉大銘;李晏成;陳俊廷
• 申請（專利權）人: 明德國際倉儲貿易（上海）有限公司
• 主分類號: G03F7/32
• 分類號: G03F7/32
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 周長興

1、一種顯影液組成物，其包括：

(a)0.1～20份重量的堿性化合物，該堿性化合物的份重量，是以100份重量的該顯影液組成物為基準計算；

(b)0.1～20份重量的非離子性界面活性劑，該非離子性界面活性劑的份重量，是以100份重量的該顯影液組成物為基準計算；

(c)0.1～10份重量的如下式(I)結構的單羧酸化合物：

RCOOR′式(I)

其中，R為含碳數5～12的脂肪族或芳香族，R′為氫、堿金屬或堿土金屬陽離子；該式(I)的單羧酸化合物的份重量，是以100份重量的該顯影液組成物為基準計算；以及

(d)其余份重量的水，該水的份重量是以100份重量的該顯影液組成物為基準計算。

2、如權利要求1所述的顯影液組成物，其中，該堿性化合物是選自于下列群組，包括：堿金屬的氫氧化物、碳酸氫鹽、磷酸鹽、硼酸鹽、氨、氫氧化四甲銨、氫氧化2-氫氧化乙基三甲銨、單甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、單異丙基胺、二異丙基胺、三異丙基胺、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、單乙醇二甲基胺以及上述化合物的混合物。

3、如權利要求1所述的顯影液組成物，其中，該堿性化合物為無機堿性化合物。

4、如權利要求1所述的顯影液組成物，其中，該堿性化合物，是選自于下列群組，包括：堿金屬的氫氧化物、碳酸氫鹽、磷酸鹽、硼酸鹽、氨以及上述化合物的混合物。

5、如權利要求1所述的顯影液組成物，其中，該堿性化合物為有機堿性化合物。

6、如權利要求1所述的顯影液組成物，其中，該非離子性界面活性劑，是選自下列群組，包括：聚環氧乙烯烷基醚、聚環氧乙烯烷基芳基醚、聚環氧乙烯脂肪酸酯、山梨醣醇酐脂肪酸酯、聚環氧乙烯山梨醣醇酐脂肪酸酯、聚環氧乙烯苯乙烯化芳基醚、聚環氧乙烯二苯乙烯化芳基醚、聚環氧乙烯三苯乙烯化芳基醚、聚環氧乙烯氧化丙烯共聚物、聚環氧乙烯與脂肪酸胺、酰胺或酸的縮合物、以及上述物質的混合物。

7、如權利要求1所述的顯影液組成物，其中，該非離子性界面活性劑，是具有聚環氧乙烯或聚環氧化丙烯共聚物的單體。

8、如權利要求1所述的顯影液組成物，其中，該式(I)結構的單羧酸化合物，是選自下列群組，包括：戊酸、己酸、庚酸、苯甲酸、鄰-羥基苯甲酸、鄰-甲苯甲酸、間-甲苯甲酸、對-甲苯甲酸、辛酸、壬酸、癸酸、十二酸、上述化合物的堿金屬或堿土金屬陽離子鹽類、以及上述化合物的混合物。

9、如權利要求1所述的顯影液組成物，其中，該式(I)結構的單羧酸化合物，是選自于下列群組，包括：鄰-羥基苯甲酸、鄰-甲苯甲酸、間-甲苯甲酸、對-甲苯甲酸、辛酸、壬酸、癸酸、十二酸、上述的化合物的堿金屬或堿土金屬陽離子鹽類、以及上述化合物的混合物。

10、如權利要求1所述的顯影液組成物，其中，該(a)堿性化合物的份重量是介于0.5至15份重量，該(b)非離子性界面活性劑的份重量介于0.5至15份重量，該(c)單羧酸化合物的份重量介于0.2至8份重量。

11、如權利要求1所述的顯影液組成物，其中，該(a)堿性化合物的份重量是介于3至15份重量，該(b)非離子性界面活性劑的份重量介于3至15份重量，該(c)單羧酸化合物的份重量介于0.5至5份重量。