[發明專利]防死水處理裝置與超純水制造系統

無效

• 申請號: 200710088928.X
• 申請日: 2007-03-26
• 公開（公告）號: CN101274807A
• 公開（公告）日: 2008-10-01
• 發明（設計）人: 魏善修
• 申請（專利權）人: 力晶半導體股份有限公司
• 主分類號: C02F9/08
• 分類號: C02F9/08;C02F1/32;C02F1/44
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 陶鳳波

1.?一種防死水處理裝置，配置于水處理單元上，包括：

旁流管路，該旁流管路的一端連接于該水處理單元的進水口，該旁流管路的另一端連接于該水處理單元的出水口；

旁流閥，配置于該旁流管路上；和

短流管路，該短流管路的一端連接于該旁流閥的進水口，該短流管路的另一端連接于該旁流閥的出水口。

2.?如權利要求1所述的防死水處理裝置，其中該旁流閥內設置有擋板，該擋板具有限流孔洞。

3.?如權利要求2所述的防死水處理裝置，其中該擋板的形狀包括板狀。

4.?如權利要求2所述的防死水處理裝置，其中該擋板限制超純水往一方向流動。

5.?如權利要求2所述的防死水處理裝置，其中流經該限流孔洞的超純水具有流速，且該流速為2m/s。

6.?如權利要求1所述的防死水處理裝置，其中該水處理單元包括紫外光殺菌裝置、加熱裝置、精練型樹脂單元、超過濾單元或脫氣膜單元。

7.?如權利要求1所述的防死水處理裝置，其中該短流管路包括玻璃管、塑膠硬管或塑膠軟管。

8.?一種防死水處理裝置，配置于水處理單元上，包括：

旁流管路，該旁流管路的一端連接于該水處理單元的進水口，該旁流管路的另一端連接于該水處理單元的出水口；和

旁流閥，配置于該旁流管路上，其中該旁流閥內設置有擋板，該擋板具有限流孔洞。

9.?如權利要求8所述的防死水處理裝置，其中該擋板的形狀包括板狀。

10.?如權利要求8所述的防死水處理裝置，其中該擋板限制超純水往一方向流動。

11.?如權利要求8所述的防死水處理裝置，其中流經該限流孔洞的超純水具有流速，且該流速為2m/s。

12.?如權利要求8所述的防死水處理裝置，其中該水處理單元包括紫外光殺菌裝置、加熱裝置、精練型樹脂單元、超過濾單元或脫氣膜單元。

13.?一種超純水制造系統，包括：

多個泵，該些泵提供動力以使超純水流動；

多個水處理單元；

多條管路，該些管路連接該些泵與該些水處理單元；和

多個防死水處理裝置，配置于該些水處理單元上，其中，每一該些防死水處理裝置還包括：

旁流管路，該旁流管路的一端連接于每一該些水處理單元的進水口，該旁流管路的另一端連接于每一該些水處理單元的出水口；

旁流閥，配置于該旁流管路上；和

短流管路，該短流管路的一端連接于該旁流閥的進水口，該短流管路的另一端連接于該旁流閥的出水口。

14.?如權利要求13所述的超純水制造系統，其中該旁流閥內設置有擋板，該擋板具有限流孔洞。

15.?如權利要求14所述的超純水制造系統，其中該擋板的形狀包括板狀。

16.?如權利要求14所述的超純水制造系統，其中該擋板限制超純水往一方向流動。

17.?如權利要求14所述的超純水制造系統，其中流經該限流孔洞的超純水具有流速，且該流速為2m/s。

18.?如權利要求13所述的超純水制造系統，其中該些水處理單元包括紫外光殺菌裝置、加熱裝置、精練型樹脂單元、超過濾單元或脫氣膜單元。

19.?如權利要求14所述的超純水制造系統，其中該短流管路包括玻璃管、塑膠硬管或塑膠軟管。