[發明專利]防死水處理裝置與超純水制造系統

無效

• 申請號: 200710088928.X
• 申請日: 2007-03-26
• 公開（公告）號: CN101274807A
• 公開（公告）日: 2008-10-01
• 發明（設計）人: 魏善修
• 申請（專利權）人: 力晶半導體股份有限公司
• 主分類號: C02F9/08
• 分類號: C02F9/08;C02F1/32;C02F1/44
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 陶鳳波

技術領域

本發明涉及一種水處理裝置，且特別是涉及一種防死水處理裝置。

背景技術

近年來，由于半導體技術不斷地蓬勃發展，使得高科技產品得以大步躍進。而在人們追求產品具有輕薄短小等優點的需求之下，各類產品的元件也趨于微型化。如此一來，在半導體類產品中，便必須增加微小元件的集成度。然而，隨著元件復雜度與集成度的升高，晶片表面的微小缺陷(minute?defects)和微量雜質(trace?impurities)將會嚴重地影響元件的性能。晶片表面的微小缺陷和微量雜質不但會劣化元件的特性和可靠度，甚者還會降低晶片的成品率。因此，在半導體工藝中，用以清洗晶片以移除附著于晶片表面上無用物質的洗凈工藝便顯得相當重要。

超潔凈技術(ultraclean?technology)是一種利用超純水以洗凈晶片的技術。若使用原水(raw?water)清洗晶片，由于原水內含有各類形式的雜質，雜質容易沉淀于晶片表面上反而造成晶片元件的劣化，因此，使用于晶片洗凈步驟的水，需先經過凈化而成為超純水。

目前常用的超純水制造系統包括前處理系統(pretreatment?system)、主處理系統(primary?treatment?system)、超純水系統(ultrapure?water?system)和管路系統(piping?system)。其中前處理系統用以過濾顆粒較大的雜質，主處理系統用以移除微粒子并且進行殺菌，而超純水系統用以提高從主處理系統中送出的水質，并通過泵的動力，使超純水在管路中持續地循環，以改善并確保超純水在系統用水端(point?of?use，POU)的品質。管路系統則用來連接上述各系統，使得超純水持續在超純水制造系統中流動循環，以維持超純水的純度與品質。

發明內容

因此，本發明提供一種防死水處理裝置，此裝置可以使超純水處于活水狀態，以維持超純水的品質。

本發明提供一種超純水制造系統，此系統可以使超純水保持流動狀態，以維持超純水的純度。

本發明提出一種防死水處理裝置，其配置于水處理單元上，包括旁流管路、旁流閥和短流管路。旁流管路的一端連接于水處理單元的進水口，旁流管路的另一端連接于水處理單元的出水口。旁流閥配置于旁流管路上。短流管路的一端連接于旁流閥的進水口，短流管路的另一端連接于旁流閥的出水口。

在本發明的實施例中，上述的旁流閥內設置有擋板，擋板具有限流孔洞。

在本發明的實施例中，上述的擋板的形狀例如是板狀。

在本發明的實施例中，上述的擋板限制超純水往一方向流動。

在本發明的實施例中，流經限流孔洞的超純水具有流速，且流速為2m/s。

在本發明的實施例中，上述的水處理單元包括紫外光殺菌裝置(ultraviolet?sterilizer，UV)、加熱裝置、精練型樹脂單元、超過濾單元(ultrafiltration，UF)或脫氣膜單元。

在本發明的實施例中，上述的短流管路包括玻璃管、塑膠硬管或塑膠軟管。

本發明提供一種超純水制造系統，此系統可以使超純水保持流動狀態，以維持超純水的純度。

本發明提出一種防死水處理裝置，其配置于水處理單元上，包括旁流管路和旁流閥。旁流管路的一端連接于水處理單元的進水口，旁流管路的另一端連接于水處理單元的出水口。旁流閥配置于旁流管路上，旁流閥內設置有擋板，擋板具有限流孔洞。

在本發明的實施例中，上述的擋板的形狀例如是板狀。

在本發明的實施例中，上述的擋板限制超純水往一方向流動。

在本發明的實施例中，流經限流孔洞的超純水具有流速，且流速為2m/s。

在本發明的實施例中，上述的水處理單元包括紫外光殺菌裝置、加熱裝置、精練型樹脂單元、超過濾單元或脫氣膜單元。

本發明又提出一種超純水制造系統，超純水制造系統包括多個泵、多個水處理單元、多條管路和多個防死水處理裝置。泵提供動力以使超純水流動。管路連接泵與水處理單元。防死水處理裝置配置于水處理單元上，其中，防死水處理裝置還包括旁流管路、旁流閥和短流管路。旁流管路的一端連接于水處理單元的進水口，旁流管路的另一端連接于水處理單元的出水口。旁流閥配置于旁流管路上。短流管路的一端連接于旁流閥的進水口，短流管路的另一端連接于旁流閥的出水口。

在本發明的實施例中，上述的旁流閥內設置有擋板，擋板具有限流孔洞。

在本發明的實施例中，上述的擋板的形狀例如是板狀。