[發明專利]用于設計精細圖案的方法和設備

無效

• 申請號: 200710085637.5
• 申請日: 2007-03-01
• 公開（公告）號: CN101158807A
• 公開（公告）日: 2008-04-09
• 發明（設計）人: 申在弼;金英一;柳文鉉;李鐘培
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: G03F1/14
• 分類號: G03F1/14;H01L21/00;H01L21/027;G06F17/50
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 戎志敏

1.一種設計精細圖案的方法，包括：

讀取用于曝光的精細圖案的原始數據；

將精細圖案劃分為不需要修正的第一圖案和需要修正的第二圖案；

通過形成與第二圖案維持第一距離D1的輔助圖案來修正精細圖案；

通過運行包括第一輔助圖案和第二輔助圖案的仿真程序來估計要轉移到目標物體上的精細圖案；以及

將所估計的精細圖案與用于曝光的精細圖案的原始數據進行比較，并且如果所估計的精細圖案和用于曝光的精細圖案的原始數據之間沒有差別，指定已修正的精細圖案作為最終精細圖案。

2.如權利要求1所述的方法，其中，劃分精細圖案的步驟包括：

從多個多角精細圖案中選擇待劃分為第一和第二圖案的選定多角精細圖案；

確定連接部分，用于將選定多角精細圖案劃分為四邊形形狀；以及

通過去除連接部分來獲得已劃分的第一和第二圖案。

3.如權利要求2所述的方法，還包括：在劃分精細圖案之后，檢查是否已經正確地執行將精細圖案劃分為第一和第二圖案的操作；以及

如果還沒有不正確地執行將精細圖案劃分為第一和第二圖案的操作，重新選擇待劃分為第一和第二圖案的多角精細圖案。

4.如權利要求2所述的方法，還包括：在將精細圖案劃分為第一和第二圖案之后，

檢查是否已經正確地執行將精細圖案劃分為第一和第二圖案的操作；以及

如果已經正確地執行了劃分，重新附加所述連接部分。

5.如權利要求2所述的方法，還包括：在劃分第一和第二圖案之后，

確定是否可以通過光刻形成第一和第二圖案；以及

如果確定不能通過光刻形成第一和第二圖案，重新選擇待劃分為第一和第二圖案的多角精細圖案。

6.如權利要求1所述的方法，其中，在形成輔助圖案時，所述輔助圖案包括第一輔助圖案，獨立地形成所述第一輔助圖案以維持與具有寬度W1的第二圖案相距第一距離D1。

7.如權利要求6所述的方法，其中，一部分第一輔助圖案分開距離(W1+2×D1)。

8.如權利要求6所述的方法，其中，第一輔助圖案沿線形的第二圖案的周長、與第二圖案分開第一距離D1。

9.如權利要求6所述的方法，其中，第一輔助圖案具有與第二圖案的寬度W1相同的寬度W2。

10.如權利要求1所述的方法，其中，在形成輔助圖案時，所述輔助圖案包括第二輔助圖案，所述第二輔助圖案附加到第一圖案上，并且維持與第二圖案相距第一距離D1。

11.如權利要求10所述的方法，其中，第二輔助圖案與線形的第二圖案的至少一側分開第一距離D1。

12.如權利要求10所述的方法，其中，第二輔助圖案具有比第二圖案的寬度W1小的寬度W3。

13.如權利要求1所述的方法，還包括：在形成輔助圖案之后形成修整圖案，用于去除第一和第二輔助圖案之間不必要的材料。

14.如權利要求13所述的方法，其中，通過所述修整圖案去除的不必要的材料是刻蝕工藝的殘留材料。

15.如權利要求13所述的方法，還包括：在估計精細圖案之后，

檢查在第二圖案中是否存在凹口；以及

如果在第二圖案中存在凹口，重新形成輔助圖案。

16.一種用于設計精細圖案的設備，包括：

讀取組件，讀取用于曝光的精細圖案的原始數據；

劃分組件，將精細圖案劃分為不需要修正的第一圖案和需要修正的第二圖案；

修正組件，通過形成維持與第二圖案相距第一距離D1的輔助圖案來對所述精細圖案進行修正；

估計組件，通過運行包括第一輔助圖案和第二輔助圖案的程序，來估計要轉移到目標物體上的精細圖案；以及

確定組件，用于將所估計的精細圖案與原始數據進行比較，如果所估計的精細圖案和用于曝光的精細圖案的原始數據之間沒有差別，指定已修正的精細圖案作為最終精細圖案。

17.如權利要求16所述的設備，其中，在形成輔助圖案時，所述輔助圖案包括第一輔助圖案，獨立地形成所述第一輔助圖案以維持與具有寬度W1的第二圖案相距第一距離D1。