[發明專利]透射電鏡微柵及其制備方法

有效

• 申請號: 200710073768.1
• 申請日: 2007-03-30
• 公開（公告）號: CN101276724A
• 公開（公告）日: 2008-10-01
• 發明（設計）人: 張麗娜;馮辰;劉亮;姜開利;李群慶;范守善
• 申請（專利權）人: 清華大學;鴻富錦精密工業(深圳)有限公司
• 主分類號: H01J37/02
• 分類號: H01J37/02;H01J37/26;H01J9/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.?一種透射電鏡微柵，其包括一金屬網格，其特征在于：進一步包括一碳納米管薄膜結構，該碳納米管薄膜結構覆蓋在金屬網格上。

2.?如權利要求1所述的透射電鏡微柵，其特征在于，該碳納米管薄膜結構包括多層碳納米管薄膜交叉重疊設置。

3.?如權利要求2所述的透射電鏡微柵，其特征在于，每層碳納米管薄膜為多個首尾相連且擇優取向排列的碳納米管束組成的薄膜結構。

4.?如權利要求2所述的透射電鏡微柵，其特征在于，該碳納米管薄膜中具有多個微孔，該微孔的孔徑為1納米～1微米。

5.?一種透射電鏡微柵的制備方法，其包括以下步驟：

從碳納米管陣列中拉取獲得碳納米管薄膜；

將碳納米管薄膜覆蓋在一金屬網格上；及

使用有機溶劑處理該碳納米管薄膜和金屬網格。

6.?如權利要求5所述的透射電鏡微柵的制備方法，其特征在于，進一步包括將多個碳納米管薄膜相互交叉地重疊形成一多層碳納米管薄膜結構，并覆蓋在金屬網格上。

7.?如權利要求6所述的透射電鏡微柵的制備方法，其特征在于，該多層碳納米管薄膜結構可預先通過有機溶劑處理。

8.?如權利要求7所述的透射電鏡微柵的制備方法，其特征在于，該有機溶劑為乙醇、甲醇、丙酮、二氯乙烷或氯仿。

9.?如權利要求5所述的透射電鏡微柵的制備方法，其特征在于，上述從碳納米管陣列拉取獲得碳納米管薄膜的方法包括以下步驟：

從碳納米管陣列中選定一定寬度的多個碳納米管片斷；以及

以一定速度沿基本垂直于碳納米管陣列生長方向拉伸該多個碳納米管片斷，以形成一連續的碳納米管薄膜。

10.?如權利要求9所述的透射電鏡微柵的制備方法，其特征在于，上述碳納米管陣列的制備方法包括以下步驟：

提供一平整基底；

在基底表面均勻形成一催化劑層；

將上述形成有催化劑層的基底在700～900℃的空氣中退火約30分鐘～90分鐘；以及

將處理過的基底置于反應爐中，在保護氣體環境下加熱到500～740℃，然后通入碳源氣反應約5～30分鐘，生長得到高度為200～400微米的碳納米管陣列。

11.?如權利要求5所述的透射電鏡微柵的制備方法，其特征在于，上述使用有機溶劑處理的方法包括通過試管將有機溶劑滴落在碳納米管薄膜表面浸潤整個碳納米管薄膜，或將上述形成有碳納米管薄膜的金屬網格整個浸入盛有有機溶劑的容器中浸潤。