[發(fā)明專利]太陽(yáng)能電池激光標(biāo)刻設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710072812.7
• 申請(qǐng)日: 2007-01-08
• 公開（公告）號(hào): CN101222001A
• 公開（公告）日: 2008-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李毅;李全相
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 李毅
• 主分類號(hào): H01L31/20
• 分類號(hào): H01L31/20;B23K26/00;G05B19/04
• 代理公司: 深圳市毅穎專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 張藝影;李奕暉

1.太陽(yáng)能電池激光標(biāo)刻設(shè)備，包括由計(jì)算機(jī)控制的機(jī)械工作臺(tái)和激光發(fā)生器，其特征還包括計(jì)算機(jī)程序分時(shí)控制：

基片工作臺(tái)，沿X或Y軸向平移，工作臺(tái)懸臂上的激光振鏡掃描系統(tǒng)靜止不動(dòng)；到達(dá)標(biāo)刻區(qū)域后

啟動(dòng)激光振鏡掃描系統(tǒng)，導(dǎo)入標(biāo)刻圖形，在標(biāo)刻區(qū)域內(nèi)標(biāo)刻基片。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池激光標(biāo)刻設(shè)備，其特征在于所說(shuō)激光振鏡掃描系統(tǒng)中振鏡聚焦透鏡焦距75cm可調(diào)，基片工作臺(tái)是X-Y軸精密電控平移工作臺(tái)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池激光標(biāo)刻設(shè)備，其特征在于所說(shuō)機(jī)械工作臺(tái)上的激光振鏡掃描系統(tǒng)在Z軸導(dǎo)軌上的高度可調(diào)，激光振鏡掃描系統(tǒng)中可以更換激光頭與激光發(fā)生器相匹配。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述激的太陽(yáng)能電池激光標(biāo)刻設(shè)備，其特征在于所說(shuō)的激光振鏡掃描系統(tǒng)標(biāo)刻工作時(shí)，由激光器輸出激光進(jìn)入激光振鏡掃描系統(tǒng)，經(jīng)一對(duì)反射鏡反射后，再反射到聚焦透鏡，通過光路激光束聚焦到標(biāo)刻區(qū)域標(biāo)刻基片。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的太陽(yáng)能電池激光標(biāo)刻設(shè)備，其特征在于所說(shuō)的激光振鏡掃描系統(tǒng)的反射鏡由振鏡電機(jī)控制其偏轉(zhuǎn)角度，而振鏡電機(jī)的偏轉(zhuǎn)是由計(jì)算機(jī)通過D/A卡來(lái)控制，使聚光斑按照計(jì)算機(jī)設(shè)定的圖案、文字、及直線軌跡運(yùn)行。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池激光標(biāo)刻設(shè)備，其特征在于所說(shuō)的基片工作臺(tái)，根據(jù)基片幅面大小，可以是多幅面標(biāo)刻的X-Y交聯(lián)平臺(tái)或是單幅面標(biāo)刻的單向平臺(tái)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池激光標(biāo)刻設(shè)備，其特征在于所說(shuō)的激光振鏡掃描系統(tǒng)，可以是紅外光激光振鏡標(biāo)刻系統(tǒng)或激光振鏡綠激光標(biāo)刻系統(tǒng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的太陽(yáng)能電池激光標(biāo)刻設(shè)備，其特征是所說(shuō)的激光振鏡掃描系統(tǒng)的激光振鏡頭可以串聯(lián)或并聯(lián)在懸臂上。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池激光標(biāo)刻設(shè)備，其特征是所說(shuō)待刻的基片是非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池激光標(biāo)刻設(shè)備，其特征是所說(shuō)的激光振鏡掃描系統(tǒng)中，匹配的是光纖激光器或泵浦綠激光器。