[發(fā)明專利]減薄拋光用的精密磨拋頭機械裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200710064694.5 | 申請日： | 2007-03-23 |
| 公開（公告）號： | CN101269478A | 公開（公告）日： | 2008-09-24 |
| 發(fā)明（設計）人： | 劉素平;馬驍宇;王俊;李偉 | 申請（專利權）人： | 中國科學院半導體研究所 |
| 主分類號： | B24B41/047 | 分類號： | B24B41/047;B24B29/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 湯保平 |
| 地址： | 100083北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 拋光 精密 磨拋頭 機械 裝置 | ||
1.?一種減薄拋光用的精密磨拋頭機械裝置，其特征在于，包括：
一外套，該外套包括：
一上層環(huán)體；
一下層環(huán)體，該上層環(huán)體和下層環(huán)體之間由多個連接桿固定連接；
一中層，該中層為圓形片體，該中層位于上層環(huán)體的下方、固定在多個連接桿的內(nèi)側，該中層中間的位置安裝有一限位器；
一內(nèi)套，該內(nèi)套包括：
一上連接件，該上連接件為一圓盤型；
一底座，該底座為一圓盤型，該底座的中心處開有一孔，該底座和上連接件之間由多個連接柱固定連接；
該內(nèi)套位于外套的內(nèi)部，并與外套聯(lián)動；
一載物片，該載物片為一片體，該載物片位于內(nèi)套中的底座的下方，并與內(nèi)套中的底座聯(lián)動。
2.?根據(jù)權利要求1所述的減薄拋光用的精密磨拋頭機械裝置，其特征在于，其中所述的外套中的多個連接桿的數(shù)量為3-5個，且該連接桿為均勻分布重量相同。
3.?根據(jù)權利要求1所述的減薄拋光用的精密磨拋頭機械裝置，其特征在于，其中所述的外套為一體加工制作。
4.?根據(jù)權利要求1所述的減薄拋光用的精密磨拋頭機械裝置，其特征在于，其中所述的內(nèi)套中的多個連接柱的數(shù)量為3-5個，且該連接柱為均勻分布重量相同。
5.?根據(jù)權利要求1所述的減薄拋光用的精密磨拋頭機械裝置，其特征在于，其中所述的外套中的下層環(huán)體的下邊緣處開有多個均勻分布的形狀相同的豁口。
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