[發(fā)明專利]聲表面波氣體傳感器的制造方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200710064333.0 | 申請日： | 2007-03-12 |
| 公開（公告）號： | CN101034083A | 公開（公告）日： | 2007-09-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李強(qiáng);李冬梅;潘峰 | 申請（專利權(quán)）人： | 清華大學(xué) |
| 主分類號： | G01N29/028 | 分類號： | G01N29/028;H01L49/00 |
| 代理公司： | 北京眾合誠成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 李光松 |
| 地址： | 100084北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 表面波 氣體 傳感器 制造 方法 | ||
【說明書】：
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