[發明專利]聲表面波氣體傳感器的制造方法無效
| 申請號： | 200710064333.0 | 申請日： | 2007-03-12 |
| 公開（公告）號： | CN101034083A | 公開（公告）日： | 2007-09-12 |
| 發明（設計）人： | 李強;李冬梅;潘峰 | 申請（專利權）人： | 清華大學 |
| 主分類號： | G01N29/028 | 分類號： | G01N29/028;H01L49/00 |
| 代理公司： | 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 | 代理人： | 李光松 |
| 地址： | 100084北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 表面波 氣體 傳感器 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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