[發明專利]一種真空旋轉升降裝置

無效

• 申請號: 200710062730.4
• 申請日: 2007-01-15
• 公開（公告）號: CN101224862A
• 公開（公告）日: 2008-07-23
• 發明（設計）人: 張之山
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: B66F19/00
• 分類號: B66F19/00
• 代理公司: 北京凱特來知識產權代理有限公司
• 代理人: 趙鎮勇;任紅

技術領域

本發明涉及機械傳動領域，尤其涉及一種在機械傳動過程中可旋轉升降的真空旋轉升降裝置。

背景技術

目前，在很多產品的制作過程中，為保證產品具有較高的質量，一般都是在無塵真空的環境下進行加工，這樣的產品都是通過現代化的機械來進行加工和傳輸的，而在傳輸過程中，要通過機械手來完成對產品的抓取和搬運，但在抓取過程中，機械手難免會有抓取不到的區域，這就需要其他種類的運動裝置來完成對產品所在位置的調整，以配合機械手更于便利的對產品實施運輸。

現有的實現此功能的傳動裝置如圖1和2所示，該裝置包括伺服電機13、絲杠傳動平臺14、連接軸16、波紋管15、密封圈17和承載托盤12，其中伺服電機13連接絲杠傳動平臺14，絲杠傳動平臺的傳動端141與連接軸16相連，而連接軸16的法蘭邊161與波紋管15的一端通過密封圈17實現真空密封連接，波紋管15的另一端與真空腔室通過密封圈17實現真空密封連接，連接軸16的另一端伸入到真空腔室內部，與承載產品的承載托盤12連接。另外，真空腔室與絲杠傳動平臺14對地是絕對靜止，當伺服電機13轉動時，驅動絲杠傳動平臺14上的傳動端141上下運動，傳動端141再帶動著連接軸16上下運動，最終連接軸16再帶動承載托盤12上下升降運動，從而調整承載托盤12中產品的垂直距離，同時波紋管15在整個過程中，會根據上下運動的程度進行伸縮運動，可以起到密封調節的作用。

從以上現有技術的裝置可以看出，該裝置只能夠在垂直方向上作上下往復運動，而不能夠使承載托盤在軸向上作旋轉運動，限制了該裝置的調整范圍，使機械手不能夠更好的發揮作用。

發明內容

鑒于上述現有技術所存在的問題，本發明的目的是提供一種即能夠在垂直方向作上下往復運動，又能夠在軸向上作旋轉運動的真空旋轉升降裝置。

本發明的目的是通過以下技術方案實現的：

本發明所述的真空旋轉升降裝置，包括伺服電機，絲杠傳動平臺和連接軸，伺服電機驅動絲杠轉動平臺的傳動端作上下往復運動，本發明還包括轉動伺服電機，所述的絲杠傳動平臺的傳動端與轉動伺服電機相連，帶動轉動伺服電機作上下往復運動；轉動伺服電機的輸出軸與連接軸的一端相連，驅動連接軸作軸向旋轉運動。

還包括連接塊，所述的絲杠轉動平臺的傳動端通過連接塊與轉動伺服電機剛性連接。

還包括承載托盤，所述的連接軸的另一端伸入到真空腔室內，與承載托盤相連接，帶動承載托盤作上下往復運動和軸向旋轉運動。

還包括磁流體密封裝置，所述的磁流體密封裝置位于轉動伺服電機和連接軸之間，一端軸與轉動伺服電機的輸出軸連接，另一端軸與連接軸剛性連接。

還包括連軸器，所述的磁流體密封裝置的一端軸通過連軸器與轉動伺服電機的輸出軸剛性連接。

還包括波紋管和密封圈，所述的波紋管的兩端分別與真空腔室和磁流體密封裝置的法蘭盤連接，在連接部位安裝有密封圈，通過密封圈來實現真空密封。

由上述本發明提供的技術方案可以看出，本發明在軸向上增加了一個轉動伺服電機，通過絲杠傳動平臺的傳動端帶動轉動伺服電機作上下往復運動，再通過轉動伺服電機驅動連接軸作軸向旋轉運動，這樣連接軸不但能夠作上下往復運動，又能夠作軸向旋轉運動，從而可以帶動承載托盤也作相應的運動，達到調整承載托盤上產品位置的目的，且擴大了調整范圍，使機械手能夠更好的發揮作用。

附圖說明

圖1為現有技術中的升降裝置在相對低位時的結構示意圖；

圖2為現有技術中的升降裝置在相對高位時的結構示意圖；

圖3為本發明旋轉升降裝置在相對低位時的結構示意圖；

圖4為本發明旋轉升降裝置在相對高位時的結構示意圖；

圖5為本發明旋轉升降裝置旋轉時的結構示意圖。

具體實施方式

本發明提供了一種即能夠在垂直方向作上下往復運動，又能夠在軸向上作旋轉運動的真空旋轉升降裝置。本發明的核心為：在軸向上增加了一個轉動伺服電機，通過絲杠傳動平臺的傳動端帶動轉動伺服電機作上下往復運動，再通過轉動伺服電機驅動連接軸作軸向旋轉運動，這樣連接軸不但能夠作上下往復運動，又能夠作軸向旋轉運動，從而可以帶動承載托盤也作相應的運動。

為更好的描述本發明，下面結合附圖對本發明的具體實施方式作進一步說明：