[發(fā)明專利]一種真空旋轉(zhuǎn)升降裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710062730.4
• 申請(qǐng)日: 2007-01-15
• 公開（公告）號(hào): CN101224862A
• 公開（公告）日: 2008-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張之山
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): B66F19/00
• 分類號(hào): B66F19/00
• 代理公司: 北京凱特來(lái)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 趙鎮(zhèn)勇;任紅

1.一種真空旋轉(zhuǎn)升降裝置，包括伺服電機(jī)(13)，絲杠傳動(dòng)平臺(tái)(24)和連接軸(26)，伺服電機(jī)(13)驅(qū)動(dòng)絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)(24)的傳動(dòng)端(241)作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，其特征在于，還包括轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)(28)，所述的絲杠傳動(dòng)平臺(tái)的傳動(dòng)端(241)與轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)(28)相連，帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)(28)作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)；轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)(28)的輸出軸與連接軸(26)的一端相連，驅(qū)動(dòng)連接軸(26)作軸向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。

2.如權(quán)利要求1所述的真空旋轉(zhuǎn)升降裝置，其特征在于，還包括連接塊(29)，所述的絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)(24)的傳動(dòng)端(241)通過連接塊(29)與轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)(28)剛性連接。

3.如權(quán)利要求1或2所述的真空旋轉(zhuǎn)升降裝置，其特征在于，還包括承載托盤(12)，所述的連接軸(26)的另一端伸入到真空腔室內(nèi)，與承載托盤(12)相連接，帶動(dòng)承載托盤(12)作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)和軸向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。

4.如權(quán)利要求3所述的真空旋轉(zhuǎn)升降裝置，其特征在于，還包括磁流體密封裝置(31)，所述的磁流體密封裝置(31)位于轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)(28)和連接軸(26)之間，一端軸與轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)(28)的輸出軸連接，另一端軸與連接軸(26)剛性連接。

5.如權(quán)利要求4所述的真空旋轉(zhuǎn)升降裝置，其特征在于，還包括連軸器(30)，所述的磁流體密封裝置(31)的一端軸通過連軸器(30)與轉(zhuǎn)動(dòng)伺服電機(jī)(28)的輸出軸剛性連接。

6.如權(quán)利要求4所述的真空旋轉(zhuǎn)升降裝置，其特征在于，還包括波紋管(25)和密封圈(27)，所述的波紋管(25)的兩端分別與真空腔室和磁流體密封裝置(31)的法蘭盤(311)連接，在連接部位安裝有密封圈(27)，通過密封圈(27)來(lái)實(shí)現(xiàn)真空密封。