[發(fā)明專利]半導(dǎo)體激光線陣及迭陣的微通道熱沉化學(xué)清洗裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710055785.2
• 申請日: 2007-06-20
• 公開（公告）號: CN101079534A
• 公開（公告）日: 2007-11-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉云;王立軍;李再金;姚迪
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類號: H01S5/024
• 分類號: H01S5/024;H01L21/00;B08B3/04;B08B3/08
• 代理公司: 長春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所
• 代理人: 趙炳仁

1、一種半導(dǎo)體激光線陣及迭陣的微通道熱沉化學(xué)清洗裝置，其特征在于包括底座(1)，支架(2)，滑塊(11)，升降調(diào)節(jié)桿(3)，微調(diào)旋鈕(10)，第一橡膠板(4)，第二橡膠板(5)，第三橡膠板(6)，魚夾(7)；支架(2)固定在底座(1)的邊緣，升降調(diào)節(jié)桿(3)垂直安裝在支架(2)的上端；滑塊(11)與升降調(diào)節(jié)桿(3)活動連接，微調(diào)旋鈕(10)固定安裝在滑塊(11)上并與升降調(diào)節(jié)桿(3)活動連接，調(diào)節(jié)微調(diào)旋鈕(10)可以使滑塊(11)相對于升降調(diào)節(jié)桿(3)上下滑動；第一橡膠板(4)的一端固定在滑塊(11)上，第二橡膠板(5)與第一橡膠板(4)活動連接；第三橡膠板(6)與第二橡膠板(5)固定連接；所有魚夾(7)以相同高度水平排列安裝在第三橡膠板(6)的兩側(cè)。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體激光線陣及迭陣的微通道熱沉化學(xué)清洗裝置，其特征在于第二橡膠板(5)的一側(cè)通過梯形槽與第一橡膠板(4)的另一端插接，并用螺釘(9)將兩者相對位置固定。

3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體激光線陣及迭陣的微通道熱沉化學(xué)清洗裝置，其特征在于魚夾(7)上固定直角型銅片(8)。