[發明專利]一種離子注入機的測漏桶

有效

• 申請號: 200710047901.6
• 申請日: 2007-11-07
• 公開（公告）號: CN101159217A
• 公開（公告）日: 2008-04-09
• 發明（設計）人: 汪政明
• 申請（專利權）人: 上海宏力半導體制造有限公司
• 主分類號: H01J37/244
• 分類號: H01J37/244;H01J37/317;H01L21/265
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈蘅

技術領域

本發明涉及離子注入機測試裝置，尤其涉及一種離子注入機的測漏桶。

背景技術

目前，離子注入機是半導體離子擴散中經常采用的一種機臺。它通常包括離子源(source?head)、離子分析器(extraction)、可變狹縫(MRS)等模組。這些模組組裝完成后需要在機臺測試看是否有漏的地方，如果有漏就會影響離子注入機的正常工作。然而經過測試后如果發現離子注入機有漏的地方，就需要將離子注入機的模組重新組裝，如果數次重裝后仍然通不過漏點的測試，則需要花費較多時間仔細找出有漏的位置。

傳統的這種測漏找漏方法顯得笨拙，不但比較費時費力而且會影響離子注入機的工作。所以有效測漏找漏裝置不但省時省力還會有效提高離子注入機的利用率。

發明內容

本發明的目的在于提供一種離子注入機的測漏桶，不僅結構簡單、成本低，而且能夠方便準確地對離子注入機各模組進行漏點測試。

為了達到上述的目的，本發明提供了一種離子注入機的測漏桶，測漏桶與外部測漏機配合使用，用于對離子注入機模組進行測漏，其特征在于，它包括：測漏桶桶身，測漏桶桶身一側具有與外部測漏機連接的抽氣孔，測漏桶桶身頂部開有一敞口，離子注入機的被測漏模組與測漏桶桶身的敞口形成密封型連接，被測漏模組置于所述測漏桶桶身內。

進一步地，離子注入機的被測模組直接與測漏桶的敞口直接密封型連接。

進一步地，被測模組通過適配板與所述測漏桶敞口密封型連接，適配板通過螺栓固定于桶身敞口邊。

本發明離子注入機的測漏桶，通過測漏桶對離子注入機各模組進行測漏可方便快捷地查找離子注入機各模組的漏點，避免對離子注入機的各模組重復組裝，節省查漏時間，提高離子注入機的利用率。

附圖說明

本發明離子注入機的測漏桶由以下的實施例及附圖給出。

圖1為用于對離子分析器測漏的測漏桶結構圖。

圖2為用于對離子源/可變狹縫測漏的測漏桶結構圖。

具體實施方式

以下將結合附圖對本發明離子注入機的測漏桶作進一步的詳細描述。

如圖1所示，本發明離子注入機的測漏桶以用于對離子分析器5進行測漏的測漏桶為例，測漏桶與外部測漏機配合使用，測漏桶包括：測漏桶桶身2，測漏桶桶身2一例具有與外部測漏機連接的抽氣孔4，測漏桶桶身還開有一敞口，位于測漏桶頂部，離子分析器5直接與測漏桶開的敞口密封型連接后置于桶身2內，通氣孔4與外部的測漏機連接。外部的測漏機可選擇為氦氣測漏機。

本發明離子注入機的測漏桶另一實施例以用于離子源或可變狹縫的測漏桶為例，請參閱圖2。圖2中測漏桶包括：測漏桶桶身2，測漏桶身2的一側具有與外部測漏機相連的抽氣孔4，測漏桶桶身還開有敞口，位于測漏桶頂部，離子源或可變狹縫模組6通過適配板7與測漏桶桶身敞口密封型連接，置于桶身2內。適配板7可通過螺栓8固定于桶身2敞口邊。外部的測漏機同樣可選擇為氦氣測漏機。

將所要測試的離子注入機模組與桶身2所開敞口密封型連接，置于桶身2內，然后將測漏桶抽氣孔4與外部氦氣測漏機進行密封型連接，這樣測漏桶就為一密封腔體，打開氦氣測漏機，這樣就可方便查出離子注入機模組是否存在漏點，節約查漏時間，提高離子注入機利用率。