[發明專利]一種離子注入機的測漏桶有效

申請號：	200710047901.6	申請日：	2007-11-07
公開（公告）號：	CN101159217A	公開（公告）日：	2008-04-09
發明（設計）人：	汪政明	申請（專利權）人：	上海宏力半導體制造有限公司
主分類號：	H01J37/244	分類號：	H01J37/244;H01J37/317;H01L21/265
代理公司：	上海思微知識產權代理事務所	代理人：	屈蘅
地址：	201203上海市***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種離子注入測漏桶
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【權利要求書】：

1.一種離子注入機的測漏桶，所述測漏桶與外部測漏機配合使用，用于對離子注入機模組進行測漏，其特征在于，它包括：測漏桶桶身，所述測漏桶桶身一側具有與所述外部測漏機連接的抽氣孔，所述測漏桶桶身頂部開有一敞口，所述離子注入機的被測漏模組與所述測漏桶桶身的敞口形成密封型連接，所述被測漏模組置于所述測漏桶桶身內。

2.如權利要求1所述的測漏桶，其特征在于，所述離子注入機的被測模組可直接與所述測漏桶的敞口直接密封型連接。

3.如權利要求1所述的測漏桶，其特征在于，所述被測模組通過適配板與所述測漏桶敞口密封型連接。

4.如權利要求3所述的測漏桶，其特征在于：所述的適配板通過螺栓固定于桶身敞口邊。

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