[發明專利]太陽能電池表面結構的堿溶液濕法腐蝕工藝

無效

• 申請號: 200710047893.5
• 申請日: 2007-11-07
• 公開（公告）號: CN101431120A
• 公開（公告）日: 2009-05-13
• 發明（設計）人: 李文男;郭文林
• 申請（專利權）人: 展豐能源技術（上海）有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司
• 代理人: 王敏杰

技術領域：

本發明涉及太陽能電池表面的處理工藝，特別是一種太陽能電池表面結構的堿溶液濕法腐蝕工藝。

背景技術：

以前所使用的方法基本是酸腐蝕，主要是在HNO₃/HF的混合體系中進行反應，為了控制反應速率不至于過快，需要加入NH₃-H₂O，因此在反應得時候容易產生大量的有毒氣體和異味，有毒氣體的來源主要在于HNO₃反應時由于是放熱反應，其自身易分解為NO₂和N₂O₄，異味主要來源于NH₃-H₂O，同時反應溫度不易確定，硅片的表面狀態也不易控制。

發明內容：

本發明的目的在于提供一種太陽能電池表面結構的堿溶液濕法腐蝕工藝，主要解決上述現有技術中所存在的缺陷，它可以大大提高勞動生產效率，減少了環境污染，增加了生產操作的可控性。

為解決上述問題，本發明是這樣實現的：

一種太陽能電池表面結構的堿溶液濕法腐蝕工藝，其特征在于它包括如下步驟：

步驟一，減薄；減薄工藝步驟中的相關工藝參數是：

堿溶液濃度20％—30％；

反應時間1—2min；

溫度70℃—90℃；

步驟二，制絨，制絨工藝的具體操作步驟如下：

1、在清洗設備的水槽中加入去離子水，并打開加熱電源；

2、按照規定的溶液比例，倒入已經稱重好的堿固體，攪拌均勻；

3、待溫度升至指定溫度后，加入緩釋劑異丙醇，第一批次加入

4000ml—6000ml；第二批次以后加入2000ml—3000ml，并攪拌均勻；

4、放入已減薄好的硅片，反應即可；

上述制絨工藝步驟中的相關工藝參數是：

堿溶液濃度1.0％—1.5％；

反應時間20—35min；

溫度70℃—90℃。

所述的太陽能電池表面結構的堿溶液濕法腐蝕工藝，其特征在于該

堿溶液是NaOH溶液或KOH溶液。

所述的太陽能電池表面結構的堿溶液濕法腐蝕工藝，其特征在于該

減薄工藝步驟中的優選的工藝參數是：

堿溶液濃度30％；

反應時間1.5min；

溫度80℃。

所述的太陽能電池表面結構的堿溶液濕法腐蝕工藝，其特征在于該制絨工藝步驟中的最佳工藝參數是：

堿溶液濃度1.2％；

反應時間30min；

溫度80℃。

所述的太陽能電池表面結構的堿溶液濕法腐蝕工藝，其特征在于該制絨過程中加入緩釋劑乙醇/異丙醇，第一批次加入5000ml；第二批次以后加入2500ml為優選。

藉由上述方法，本發明與現有技術相比具有如下優點：

1、本發明方法采用堿溶液制備，反應速率均勻一致，只生成氫氣，對環境無任何污染；

2、本發明方法采用乙醇/異丙醇作為溶液的緩釋劑，幾乎無任何異味；

3、本發明方法可以提高產量和工作效率，產量每班(8小時)可以生產6000片，工作效率可以提高50％。

具體實施方式：

本發明提供了一種太陽能電池表面結構的堿溶液濕法腐蝕工藝，其具體工藝步驟可參閱如下實施例。

實施例一：一種太陽能電池表面結構的NaOH溶液濕法腐蝕工藝，具體步驟是：

步驟一：減薄，為了去除原始硅片在切割后產生的表面損傷層，利

用單晶硅片的晶粒在濃堿中反應的各向同性(晶粒在各個面的反應速率相同)做表面預處理。

減薄工藝步驟中的相關工藝參數是：

NaOH溶液濃度20％—30％；最佳值為30％。

反應時間1—2min；最佳值為1.5min。

溫度70℃—90℃；最佳值為80℃。

步驟二：制絨，為了在表面制成類似“金字塔”結構的表面性狀，利用單晶硅片的晶粒在稀堿中反應的各向異性(晶粒在各個面的反應速率不同)。

具體操作步驟如下：

一、在清洗設備的水槽中加入去離子水，并打開加熱電源；

二、按照規定的溶液比例，倒入已經稱重好的NaOH固體，攪拌均勻；