[發(fā)明專利]太陽能電池表面結(jié)構(gòu)的堿溶液濕法腐蝕工藝

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710047893.5
• 申請日: 2007-11-07
• 公開（公告）號: CN101431120A
• 公開（公告）日: 2009-05-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李文男;郭文林
• 申請（專利權(quán)）人: 展豐能源技術(shù)（上海）有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司
• 代理人: 王敏杰

1、一種太陽能電池表面結(jié)構(gòu)的堿溶液濕法腐蝕工藝，其特征在于它包括如下步驟：

步驟一，減薄；減薄工藝步驟中的相關(guān)工藝參數(shù)是：

堿溶液濃度20％—30％；

反應(yīng)時間1—2min；

溫度70℃—90℃；

步驟二，制絨，制絨工藝的具體操作步驟如下：

(1)在清洗設(shè)備的水槽中加入去離子水，并打開加熱電源；

(2)按照規(guī)定的溶液比例，倒入已經(jīng)稱重好的堿固體，攪拌均勻；

(3)待溫度升至指定溫度后，加入緩釋劑異丙醇，第一批次加入

4000ml—6000ml；第二批次以后加入2000ml—3000ml，并攪拌均勻；

(4)放入已減薄好的硅片，反應(yīng)即可；

上述制絨工藝步驟中的相關(guān)工藝參數(shù)是：

堿溶液濃度1.0％—1.5％；

反應(yīng)時間20—35min；

溫度70℃—90℃。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池表面結(jié)構(gòu)的堿溶液濕法腐蝕工藝，其特征在于該堿溶液是NaOH溶液或KOH溶液。

3、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的太陽能電池表面結(jié)構(gòu)的堿溶液濕法腐蝕工藝，其特征在于該減薄工藝步驟中的優(yōu)選的工藝參數(shù)是：

堿溶液濃度30％；

反應(yīng)時間1.5min；

溫度80℃。

4、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的太陽能電池表面結(jié)構(gòu)的堿溶液濕法腐蝕工藝，其特征在于該制絨工藝步驟中的最佳工藝參數(shù)是：

堿溶液濃度1.2％；

反應(yīng)時間30min；

溫度80℃。

5、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的太陽能電池表面結(jié)構(gòu)的堿溶液濕法腐蝕工藝，其特征在于該制絨過程中加入緩釋劑乙醇/異丙醇，第一批次加入5000ml；第二批次以后加入2500ml為優(yōu)選。