[發明專利]液晶顯示裝置陣列基板的制造方法無效
| 申請號： | 200710047577.8 | 申請日： | 2007-10-30 |
| 公開（公告）號： | CN101424835A | 公開（公告）日： | 2009-05-06 |
| 發明（設計）人： | 朱棋鋒 | 申請（專利權）人： | 上海廣電NEC液晶顯示器有限公司 |
| 主分類號： | G02F1/1362 | 分類號： | G02F1/1362;G03F7/00;H01L27/12;H01L21/77;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 薛 琦 |
| 地址： | 201108上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 液晶 顯示裝置 陣列 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種液晶顯示裝置陣列基板的制造方法，該陣列基板包括一玻璃基板，依次形成于該玻璃基板上的柵極、絕緣層、源漏極金屬膜、光刻膠，其特征在于，該制造方法包括以下步驟：
對涂布光刻膠后的液晶顯示裝置陣列基板進行顯影；
對顯影后的陣列基板進行第一次濕刻；
對第一次濕刻后的陣列基板進行剝離光刻膠和漏極/硅島-光刻膠再加工；
漏極/硅島-光刻膠再加工后進行硅島和光刻膠的干刻；
然后進行第二次濕刻；
對第二次濕刻后的陣列基板進行溝道干刻。
2.如權利要求1所述的液晶顯示裝置陣列基板的制造方法，其特征在于，所述絕緣層為SiO2、SiNx或SiOxNy材料之一或任意組合所構成的復合膜。
3.如權利要求1所述的液晶顯示裝置陣列基板的制造方法，其特征在于，所述溝道干刻的步驟后將液晶顯示裝置陣列基板上剩下的光刻膠進行剝離。
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