[發明專利]塑封模具清洗用框架及其清洗塑封模具的方法有效
| 申請號： | 200710046485.8 | 申請日： | 2007-09-26 |
| 公開（公告）號： | CN101396853A | 公開（公告）日： | 2009-04-01 |
| 發明（設計）人： | 舒海波;齊順增;龔敏 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | B29C33/72 | 分類號： | B29C33/72 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 | 代理人： | 逯長明 |
| 地址： | 201203*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 塑封 模具 清洗 框架 及其 方法 | ||
1.一種塑封模具清洗用框架清洗塑封模具的方法，其特征在于，包括下列步驟：
將框架主體放置于塑封模具上，所述框架主體采用硬質材料，其上設有至少一個鏤空，鏤空與塑封模具型腔一一對應，形狀相似于塑封模具型腔工作截面形狀，且鏤空面積小于塑封模具型腔工作截面面積；
從鏤空向塑封模具型腔內注入清洗樹脂；
軟化清洗樹脂后再硬化清洗樹脂；
將帶有清洗樹脂的框架主體從塑封模具上移除；
將清洗樹脂從鏤空內移除。
2.根據權利要求1所述清洗塑封模具的方法，其特征在于：所述清洗樹脂的材料為環氧樹脂。
3.根據權利要求2所述清洗塑封模具的方法，其特征在于：所述軟化及硬化清洗樹脂的溫度為170℃～190℃。
4.根據權利要求3所述清洗塑封模具的方法，其特征在于：軟化清洗樹脂所需時間為2秒～20秒。
5.根據權利要求3所述清洗塑封模具的方法，其特征在于：硬化清洗樹脂所需時間為20秒～300秒。
6.根據權利要求1所述清洗塑封模具的方法，其特征在于：所述框架主體的材料為馬口鐵。
7.一種塑封模具清洗用框架清洗塑封模具的方法，其特征在于，包括下列步驟：
將框架主體放置于塑封模具上，所述其框架主體采用硬質材料，其上設有至少一個鏤空，鏤空與塑封模具型腔一一對應，形狀與塑封模具型腔工作截面形狀一致，所述鏤空包括有鏤空主體，鏤空主體形狀相似于塑封模具型腔主體工作截面形狀，且鏤空主體面積小于塑封模具型腔主體工作截面面積；
從鏤空向塑封模具型腔內注入清洗樹脂；
軟化清洗樹脂后再硬化清洗樹脂；
將帶有清洗樹脂的框架主體從塑封模具上移除；
將清洗樹脂從鏤空內移除。
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