[發(fā)明專(zhuān)利]晶圓腔體環(huán)境的改善方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710045486.0
• 申請(qǐng)日: 2007-08-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101378000A
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-03-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋興華;李曉波
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/00
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/00;H01L21/02;H01L21/3205;H01L21/67
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所
• 代理人: 屈蘅

1.一種晶圓腔體環(huán)境的改善方法，用于晶圓的金屬沉積制程，其特征在于，該改善方法包括如下步驟:

a.提供與腔體相連的殘余氣體分析(RGA)裝置；

b.設(shè)定腔體殘余氣體壓強(qiáng)的規(guī)格值，輸入RGA裝置；

c.啟動(dòng)RGA裝置，對(duì)腔體殘余氣體的壓強(qiáng)條件進(jìn)行檢測(cè)，若超出規(guī)格值，RGA裝置發(fā)出警報(bào)；

d.提供與腔體連接的冷凝泵，吸附腔體內(nèi)殘余氣體分子，將壓強(qiáng)降低至規(guī)格值。

2.如權(quán)利要求1所述的改善方法，其特征在于:該改善方法還包括步驟e對(duì)腔體進(jìn)行凈化步驟。

3.如權(quán)利要求2所述的改善方法，其特征在于:所述凈化步驟是向腔體內(nèi)輸送氮?dú)猓缓笤賹⒌獨(dú)獬樽摺?/p>

4.如權(quán)利要求1所述的改善方法，其特征在于:所述殘余氣體是指水蒸汽和氧氣。