[發(fā)明專利]干燥裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200710045031.9 | 申請日： | 2007-08-17 |
| 公開（公告）號： | CN101368786A | 公開（公告）日： | 2009-02-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張文鋒 | 申請（專利權(quán)）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | F26B3/06 | 分類號： | F26B3/06;F26B11/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 逯長明 |
| 地址： | 201203*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 干燥 裝置 | ||
1.一種干燥裝置，包括：
旋轉(zhuǎn)臺；
連接所述旋轉(zhuǎn)臺并位于旋轉(zhuǎn)臺上方，用于放置晶圓的晶圓架，
其特征在于，還包括與所述晶圓架相對，用于向所述晶圓吹氣的干燥輔助裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的干燥裝置，其特征在于，所述干燥輔助裝置包括氣體供應(yīng)裝置以及連接氣體供應(yīng)裝置并位于晶圓架上方的氣體釋出裝置，所述氣體供應(yīng)裝置和氣體釋出裝置通過傳輸管道連接。
3.如權(quán)利要求1所述的干燥裝置，其特征在于，所述干燥輔助裝置包括氣體供應(yīng)裝置、連接氣體供應(yīng)裝置的加熱裝置以及連接加熱裝置并位于晶圓架上方的氣體釋出裝置，所述氣體供應(yīng)裝置、加熱裝置和氣體釋出裝置通過傳輸管道連接。
4.如權(quán)利要求1所述的干燥裝置，其特征在于，所述干燥輔助裝置包括氣體供應(yīng)裝置、連接氣體供應(yīng)裝置的過濾器以及連接過濾器位于晶圓架上方的氣體釋出裝置，所述氣體供應(yīng)裝置、過濾器、氣體釋出裝置通過傳輸管道連接。
5.如權(quán)利要求1所述的干燥裝置，其特征在于，所述干燥輔助裝置包括氣體供應(yīng)裝置、連接氣體供應(yīng)裝置的過濾器、連接過濾器的加熱裝置、連接加熱裝置并位于晶圓架上方的氣體釋出裝置，所述氣體供應(yīng)裝置、過濾器、加熱裝置、氣體釋出裝置通過傳輸管道連接。
6.如權(quán)利要求1所述的干燥裝置，其特征在于，所述干燥輔助裝置包括氣體供應(yīng)裝置、連接氣體供應(yīng)裝置的加熱裝置、連接加熱裝置的過濾器、連接過濾器并位于晶圓架上方的氣體釋出裝置，所述氣體供應(yīng)裝置、加熱裝置、過濾器、氣體釋出裝置通過傳輸管道連接。
7.如權(quán)利要求1所述的干燥裝置，其特征在于，所述干燥輔助裝置包括氣體供應(yīng)裝置、連接氣體供應(yīng)裝置的第一過濾器、連接第一過濾器的加熱裝置、連接加熱裝置的第二過濾器、連接第二過濾器并位于晶圓架上方的氣體釋出裝置，所述氣體供應(yīng)裝置、第一過濾器、加熱裝置、第二過濾器和氣體釋出裝置通過傳輸管道連接。
8.如權(quán)利要求2至7任一項所述的干燥裝置，其特征在于，所述氣體釋出裝置包括用于向晶圓表面吹氣的噴槍、連通傳輸管道并向噴槍提供氣體的傳輸軟管、用于固定噴槍的懸架、用于帶動懸架運動的馬達，其中所述噴槍位于晶圓上方。
9.如權(quán)利要求8所述的干燥裝置，其特征在于，所述噴槍的噴口指向晶圓中心。
10.如權(quán)利要求8所述的干燥裝置，其特征在于，所述噴槍的噴口相對于晶圓的角度為30至45度。
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