[發(fā)明專(zhuān)利]一種濃縮化學(xué)機(jī)械平坦化漿料產(chǎn)品及其使用方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710044585.7
• 申請(qǐng)日: 2007-08-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101358125A
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-02-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐春
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 安集微電子（上海）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C09K3/14
• 分類(lèi)號(hào): C09K3/14;H01L21/304
• 代理公司: 上海翰鴻律師事務(wù)所
• 代理人: 李佳銘

1.一種濃縮化學(xué)機(jī)械平坦化漿料產(chǎn)品，其特征在于：該產(chǎn)品由兩個(gè)獨(dú)立分裝的部分組成：

濃縮部分1：研磨顆粒和利于或不影響研磨顆粒濃縮的化學(xué)添加劑的濃縮混合物；

濃縮部分2：影響研磨顆粒濃縮，或者易受其他濃縮成分影響的化學(xué)添加劑，

其中所述的濃縮部分1含膠態(tài)二氧化硅顆粒、苯并氮唑和pH調(diào)節(jié)劑；所述的濃縮部分2含多氨基多醚基四亞甲基膦酸；或者

所述的濃縮部分1含膠態(tài)二氧化硅顆粒、2-膦酸丁烷基-1,2,4-三羧酸、苯并氮唑和pH調(diào)節(jié)劑；所述的濃縮部分2含過(guò)氧化氫。

2.一種濃縮化學(xué)機(jī)械平坦化漿料產(chǎn)品，其特征在于：該產(chǎn)品包括三個(gè)獨(dú)立分裝的部分：

濃縮部分1含有：膠態(tài)二氧化硅顆粒；

濃縮部分2含有：羥基乙叉二膦酸，5-氨基四氮唑，pH調(diào)節(jié)劑；

濃縮部分3含有：過(guò)氧化氫。

3.如權(quán)利要求1和2中的任一項(xiàng)所述的濃縮化學(xué)機(jī)械平坦化漿料產(chǎn)品，其特征在于：權(quán)利要求2所述的濃縮部分2，或權(quán)利要求1中所述濃縮部分1還含有表面活性劑、穩(wěn)定劑和滅菌劑中的一種或多種。

4.如權(quán)利要求1中所述的濃縮化學(xué)機(jī)械平坦化漿料產(chǎn)品的使用方法，其特征在于：設(shè)所述的濃縮部分1的濃縮倍數(shù)為A，所述的濃縮部分2的濃縮倍數(shù)為B；使用時(shí)按下述比例進(jìn)行稀釋混合：濃縮部分?1：濃縮部分2：去離子水=(1/A):?(1/B):?(1-1/A-1/B)。?