[發明專利]一種濃縮化學機械平坦化漿料產品及其使用方法有效
| 申請號： | 200710044585.7 | 申請日： | 2007-08-03 |
| 公開（公告）號： | CN101358125A | 公開（公告）日： | 2009-02-04 |
| 發明（設計）人： | 徐春 | 申請（專利權）人： | 安集微電子（上海）有限公司 |
| 主分類號： | C09K3/14 | 分類號： | C09K3/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海翰鴻律師事務所 | 代理人： | 李佳銘 |
| 地址： | 201203上海市浦東新區張江高科*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 濃縮 化學 機械 平坦 漿料 產品 及其 使用方法 | ||
1.一種濃縮化學機械平坦化漿料產品，其特征在于：該產品由兩個獨立分裝的部分組成：
濃縮部分1：研磨顆粒和利于或不影響研磨顆粒濃縮的化學添加劑的濃縮混合物；
濃縮部分2：影響研磨顆粒濃縮，或者易受其他濃縮成分影響的化學添加劑，
其中所述的濃縮部分1含膠態二氧化硅顆粒、苯并氮唑和pH調節劑；所述的濃縮部分2含多氨基多醚基四亞甲基膦酸；或者
所述的濃縮部分1含膠態二氧化硅顆粒、2-膦酸丁烷基-1,2,4-三羧酸、苯并氮唑和pH調節劑；所述的濃縮部分2含過氧化氫。
2.一種濃縮化學機械平坦化漿料產品，其特征在于：該產品包括三個獨立分裝的部分：
濃縮部分1含有：膠態二氧化硅顆粒；
濃縮部分2含有：羥基乙叉二膦酸，5-氨基四氮唑，pH調節劑；
濃縮部分3含有：過氧化氫。
3.如權利要求1和2中的任一項所述的濃縮化學機械平坦化漿料產品，其特征在于：權利要求2所述的濃縮部分2，或權利要求1中所述濃縮部分1還含有表面活性劑、穩定劑和滅菌劑中的一種或多種。
4.如權利要求1中所述的濃縮化學機械平坦化漿料產品的使用方法，其特征在于：設所述的濃縮部分1的濃縮倍數為A，所述的濃縮部分2的濃縮倍數為B；使用時按下述比例進行稀釋混合：濃縮部分?1：濃縮部分2：去離子水=(1/A):?(1/B):?(1-1/A-1/B)。?
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