[發明專利]一種測試自動上料卸料機臺的方法

有效

• 申請號: 200710044056.7
• 申請日: 2007-07-20
• 公開（公告）號: CN101350288A
• 公開（公告）日: 2009-01-21
• 發明（設計）人: 趙連永;陳峰
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

1.一種測試自動上料卸料機臺的方法，其特征在于包括：

用于測試上鎖和解鎖功能是否正常的步驟；

用于循環測試自動上料卸料機臺的上料卸料功能是否正常的步驟；

用于測試自動上料卸料機臺讀寫電子標簽功能是否正常的步驟。

2.如權利要求1所述的一種測試自動上料卸料機臺的方法，其特征在于：所述的用于循環測試自動上料卸料機臺的上料卸料功能是否正常的步驟通過在測試軟件上輸入要循環測試的次數，系統就能控制自動上料卸料機臺進行循環上料、卸料操作。

3.如權利要求1或2所述的一種測試自動上料卸料機臺的方法，其特征在于：所述的用于循環測試自動上料卸料機臺的上料卸料功能是否正常的步驟包括追蹤記錄功能。

4.如權利要求3所述的一種測試自動上料卸料機臺的方法，其特征在于：所述追蹤記錄功能是在循環測試自動上料卸料機臺的上料卸料過程中，將自動上料卸料機臺和電腦間的交互信息和上料卸料次數都記錄下來，以供分析使用。

5.如權利要求4所述的一種測試自動上料卸料機臺的方法，其特征在于：所述電腦和自動上料卸料機臺通過串行連接線相連。

6.如權利要求1所述的一種測試自動上料卸料機臺的方法，其特征在于：所述的用于測試上鎖和解鎖功能是否正常的步驟能夠測試自動上料卸料機臺對裝晶圓的容器的鎖定功能是否正常。

7.如權利要求1所述的一種測試自動上料卸料機臺的方法，其特征在于：所述的用于測試自動上料卸料機臺讀寫電子標簽功能是否正常的步驟用于測試自動上料卸料機臺讀寫電子標簽的功能是否正常，所述的電子標簽安裝在裝晶圓的容器上，用于記錄裝晶圓的容器的相關信息，所述的自動上料卸料機臺通過讀所述的電子標簽能夠掌握裝晶圓的容器的工作和通訊狀況。