[發(fā)明專利]一種測(cè)試自動(dòng)上料卸料機(jī)臺(tái)的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710044056.7
• 申請(qǐng)日: 2007-07-20
• 公開（公告）號(hào): CN101350288A
• 公開（公告）日: 2009-01-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙連永;陳峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/00
• 分類號(hào): H01L21/00
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

1.一種測(cè)試自動(dòng)上料卸料機(jī)臺(tái)的方法，其特征在于包括：

用于測(cè)試上鎖和解鎖功能是否正常的步驟；

用于循環(huán)測(cè)試自動(dòng)上料卸料機(jī)臺(tái)的上料卸料功能是否正常的步驟；

用于測(cè)試自動(dòng)上料卸料機(jī)臺(tái)讀寫電子標(biāo)簽功能是否正常的步驟。

2.如權(quán)利要求1所述的一種測(cè)試自動(dòng)上料卸料機(jī)臺(tái)的方法，其特征在于：所述的用于循環(huán)測(cè)試自動(dòng)上料卸料機(jī)臺(tái)的上料卸料功能是否正常的步驟通過(guò)在測(cè)試軟件上輸入要循環(huán)測(cè)試的次數(shù)，系統(tǒng)就能控制自動(dòng)上料卸料機(jī)臺(tái)進(jìn)行循環(huán)上料、卸料操作。

3.如權(quán)利要求1或2所述的一種測(cè)試自動(dòng)上料卸料機(jī)臺(tái)的方法，其特征在于：所述的用于循環(huán)測(cè)試自動(dòng)上料卸料機(jī)臺(tái)的上料卸料功能是否正常的步驟包括追蹤記錄功能。

4.如權(quán)利要求3所述的一種測(cè)試自動(dòng)上料卸料機(jī)臺(tái)的方法，其特征在于：所述追蹤記錄功能是在循環(huán)測(cè)試自動(dòng)上料卸料機(jī)臺(tái)的上料卸料過(guò)程中，將自動(dòng)上料卸料機(jī)臺(tái)和電腦間的交互信息和上料卸料次數(shù)都記錄下來(lái)，以供分析使用。

5.如權(quán)利要求4所述的一種測(cè)試自動(dòng)上料卸料機(jī)臺(tái)的方法，其特征在于：所述電腦和自動(dòng)上料卸料機(jī)臺(tái)通過(guò)串行連接線相連。

6.如權(quán)利要求1所述的一種測(cè)試自動(dòng)上料卸料機(jī)臺(tái)的方法，其特征在于：所述的用于測(cè)試上鎖和解鎖功能是否正常的步驟能夠測(cè)試自動(dòng)上料卸料機(jī)臺(tái)對(duì)裝晶圓的容器的鎖定功能是否正常。

7.如權(quán)利要求1所述的一種測(cè)試自動(dòng)上料卸料機(jī)臺(tái)的方法，其特征在于：所述的用于測(cè)試自動(dòng)上料卸料機(jī)臺(tái)讀寫電子標(biāo)簽功能是否正常的步驟用于測(cè)試自動(dòng)上料卸料機(jī)臺(tái)讀寫電子標(biāo)簽的功能是否正常，所述的電子標(biāo)簽安裝在裝晶圓的容器上，用于記錄裝晶圓的容器的相關(guān)信息，所述的自動(dòng)上料卸料機(jī)臺(tái)通過(guò)讀所述的電子標(biāo)簽?zāi)軌蛘莆昭b晶圓的容器的工作和通訊狀況。