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[發(fā)明專利]光刻方法無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 200710043681.X 申請日: 2007-07-11
公開(公告)號: CN101344721A 公開(公告)日: 2009-01-14
發(fā)明(設(shè)計)人: 周孟興 申請(專利權(quán))人: 上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司
主分類號: G03F7/00 分類號: G03F7/00;G03F7/16;H01L21/027
代理公司: 上海智信專利代理有限公司 代理人: 王潔
地址: 201203上海市*** 國省代碼: 上海;31
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 光刻 方法
【說明書】:

技術(shù)領(lǐng)域

發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域的制造技術(shù),具體地說,涉及一種半導(dǎo)體器件的光刻方法。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體技術(shù)的快速發(fā)展,半導(dǎo)體器件越來越精密,使得人們對工藝誤差的控制難度加大。光刻制程是半導(dǎo)體器件制造的一個重要環(huán)節(jié),在光刻制程中如何獲得更好的關(guān)鍵尺寸(CD)變得越來越重要。

現(xiàn)有蝕刻圖形的方法是:首先在晶圓的被蝕刻層1表面鍍光刻膠2,且光刻膠厚度均勻,如圖1所示;然后進(jìn)行顯影步驟,如果采用的是正光刻膠,則曝光區(qū)的光刻膠被移除掉;然后進(jìn)行蝕刻步驟,在被蝕刻層2上蝕刻出需要的電路圖形;最后將剩于的光刻膠移除。采用現(xiàn)有方法顯影步驟后檢視發(fā)現(xiàn),圖形關(guān)鍵尺寸均勻度較好,如圖2所示。但是,經(jīng)過蝕刻步驟后檢視發(fā)現(xiàn),圖形關(guān)鍵尺寸均勻度較差,如圖3所示,晶圓中心部分的圖形關(guān)鍵尺寸比邊緣部分的圖形關(guān)鍵尺寸變化小。采用現(xiàn)有的方法,使得蝕刻圖形與所需要的電路圖形相差較多,且由于在晶圓不同位置,圖形失真情況也不一樣,采用傳統(tǒng)方法如光學(xué)趨近校正及曝光機(jī)趨近校正由于其本身的局限也無法使蝕刻圖形達(dá)到要求。

有鑒于此,需要提供一種新的光刻方法以改善上述情況。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明解決的技術(shù)問題在于提供一種可提高蝕刻圖形均勻度的光刻方法。

為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供了一種新的光刻方法,其包括如下步驟:提供待加工晶圓;在晶圓的被蝕刻層表面鍍光刻膠,且晶圓中心部分的光刻膠厚度與晶圓周邊部分的光刻膠厚度不同;進(jìn)行曝光步驟;顯影步驟;進(jìn)行蝕刻步驟;移除剩余的光刻膠。

在鍍光刻膠的步驟中,光刻膠的厚度從晶圓中心到周邊逐步均勻增加。

與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明可以獲得均勻度較好的電路圖形,且由于晶圓各個位置圖形的失真情況比較一致,方便采用傳統(tǒng)方法對如光學(xué)趨近校正及曝光機(jī)趨近校正等等校正方法,進(jìn)一步控制蝕刻圖形的一致性。

附圖說明

通過以下對本發(fā)明一實施例結(jié)合其附圖的描述,可以進(jìn)一步理解其發(fā)明的目的、具體結(jié)構(gòu)特征和優(yōu)點。其中,附圖為:

圖1為現(xiàn)有光刻制程中鍍光刻膠后的晶圓示意圖。

圖2為現(xiàn)有光刻制程中顯影步驟后,檢視圖形關(guān)鍵尺寸一致性的曲線圖。

圖3為現(xiàn)有光刻制程中蝕刻步驟后,檢視圖形關(guān)鍵尺寸一致性的曲線圖。

圖4為本發(fā)明鍍光刻膠后的晶圓示意圖。

圖5為本發(fā)明顯影步驟后,檢視圖形關(guān)鍵尺寸一致性的曲線圖。

圖6為本發(fā)明蝕刻步驟后,檢視圖形關(guān)鍵尺寸一致性的曲線圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明公開的光刻方法作進(jìn)一步詳細(xì)描述。

請參閱圖4至圖6,本發(fā)明的光刻方法包括如下步驟:

提供待加工晶圓;

在晶圓的被蝕刻層3表面鍍光刻膠4,該光刻膠4的厚度從晶圓中心到周邊逐步均勻增加;

進(jìn)行曝光步驟;

進(jìn)行顯影步驟,顯影步驟后檢測發(fā)現(xiàn),圖形關(guān)鍵尺寸一致性曲線圖,如圖5所示,曲線圖的形狀與光刻膠厚度的形狀一致;

進(jìn)行蝕刻步驟,在被蝕刻層3上形成需要的電路圖形,檢視后發(fā)現(xiàn)晶圓各個位置的圖形關(guān)鍵尺寸的一致,如圖6所示,大致呈直線;

移除剩余的光刻膠。

采用本發(fā)明的光刻方法,可以獲得均勻度較好的電路圖形,且晶圓各個位置圖形的失真情況一致,方便采用傳統(tǒng)方法對如光學(xué)趨近校正及曝光機(jī)趨近校正等等校正方法,進(jìn)一步控制蝕刻圖形的一致性。

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說明:

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3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內(nèi)容包括專利技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖流程工藝圖技術(shù)構(gòu)造圖

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