[發(fā)明專利]光阻回收系統(tǒng)

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710042408.5
• 申請(qǐng)日: 2007-06-22
• 公開（公告）號(hào): CN101329512A
• 公開（公告）日: 2008-12-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 盧健;張建峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/16
• 分類號(hào): G03F7/16;G03F7/26
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種供應(yīng)光阻的系統(tǒng)，特別涉及能有效回收并利用光阻的回收系統(tǒng)。

背景技術(shù)

光阻是一種具有特定分子結(jié)構(gòu)的光敏物質(zhì)，它在入射光的作用下發(fā)生變化，是半導(dǎo)體制造工藝中非常重要的材料。一般的半導(dǎo)體制造工藝中通常包括多道工序，其中半導(dǎo)體外部物體如晶圓的布圖需要采用光阻并對(duì)光阻進(jìn)行受控的曝光。由于大部分的光阻為液態(tài)，因此需要將光阻由一存儲(chǔ)器推送至噴嘴以涂布至晶圓上，且還需通過一過濾器，所述過濾器去除雜質(zhì)。

圖1示出了一種用于在半導(dǎo)體制造工藝中供應(yīng)光阻的傳統(tǒng)供應(yīng)系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括：一個(gè)存儲(chǔ)光阻的容器1；一個(gè)中間箱4，它具有一個(gè)檢測(cè)中間箱4中光阻是否存在的傳感器和一個(gè)用于從此中間箱4排除氣泡的瞬間閥2和排放管3；一個(gè)泵6，用于從中間箱4抽取光阻；一個(gè)過濾器7，用于除去光阻的顆粒雜質(zhì)，它具有一個(gè)用于排除帶有氣泡的光阻的排放管5；一個(gè)氣動(dòng)閥8，控制光阻的輸出流量；一個(gè)噴嘴9，將光阻均勻涂覆于晶圓上。

在上述系統(tǒng)中，氮?dú)?N₂)經(jīng)由連接器注入存儲(chǔ)光阻的容器1中，用以將光阻推進(jìn)中間箱4中。通過泵6將光阻從中間箱4抽至過濾器7之后，會(huì)有2-3毫升的光阻從過濾器7中的排放管5被排除或泄出。此排泄過程能除去光阻中的氣泡，如果氣泡留在光阻中，半導(dǎo)體晶圓上會(huì)產(chǎn)生涂覆缺陷，排出的光阻通常被倒入廢料桶中。相似地，當(dāng)根據(jù)中間箱4中的傳感器檢測(cè)系統(tǒng)更換了空的光阻容器1時(shí)或中間箱4存儲(chǔ)飽和后，從中間箱4排出的光阻通常通過排放管3流入廢料桶中。且在定期維護(hù)或清洗中，整個(gè)光阻供應(yīng)系統(tǒng)會(huì)有100-250毫升的光阻被清洗掉，過濾器7中至少有500毫升光阻由于定期維護(hù)被排泄掉。上述三種情況不可避免地浪費(fèi)了光阻，在大規(guī)模生產(chǎn)中，被浪費(fèi)的光阻可造成嚴(yán)重的資金損耗，增加了生產(chǎn)成本。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種光阻回收系統(tǒng)，該光阻回收系統(tǒng)回收利用被排出的光阻，提高光阻利用率，同時(shí)能降低生產(chǎn)成本。

為了達(dá)到所述的目的，本發(fā)明提供了一種光阻回收系統(tǒng)，包括：一個(gè)存儲(chǔ)容器，用于存儲(chǔ)光阻；一個(gè)過濾器，用于從存儲(chǔ)容器接收光阻，并具有一個(gè)從過濾器排出的排放管；其中，光阻回收系統(tǒng)還包括一個(gè)回收容器，它連接在過濾器的排放管與存儲(chǔ)容器之間，用于使過濾器排出的光阻回流至存儲(chǔ)容器中。

在上述的光阻回收系統(tǒng)中，所述的光阻回收系統(tǒng)還包括一個(gè)中間箱，用于從存儲(chǔ)容器中接收光阻；一個(gè)泵，用于從中間箱中將光阻抽至過濾器中。

在上述的光阻回收系統(tǒng)中，所述的光阻回收系統(tǒng)還包括一個(gè)噴嘴，用于從過濾器接收光阻，并用于將光阻涂于一外部物體；一個(gè)氣動(dòng)閥，它連至噴嘴，以控制光阻的流量。

在上述的光阻回收系統(tǒng)中，所述的回收容器通過回流導(dǎo)管將光阻回流至存儲(chǔ)容器中。

在上述的光阻回收系統(tǒng)中，所述的回流導(dǎo)管插入存儲(chǔ)容器中且位于存儲(chǔ)容器的底端為齒狀。

在上述的光阻回收系統(tǒng)中，如前所述的回收容器為至少是300毫升的容器。

本發(fā)明還提供了一種光阻回收系統(tǒng)，包括：一個(gè)存儲(chǔ)容器，用于存儲(chǔ)光阻；一個(gè)中間箱，用于從存儲(chǔ)容器接收光阻，并具有一個(gè)從中間箱排放光阻的排放管；一個(gè)過濾器，用于從中間箱接收光阻，并具有一個(gè)從過濾器排出的排放管；其中，光阻回收系統(tǒng)還包括一個(gè)回收容器，它連接在過濾器、中間箱的排放管與存儲(chǔ)容器之間，用于使過濾器排出的光阻回流至存儲(chǔ)容器中。

在上述的光阻回收系統(tǒng)中，所述的光阻回收系統(tǒng)還包括一個(gè)泵，用于從中間箱中將光阻抽至過濾器中。

在上述的光阻回收系統(tǒng)中，所述的光阻回收系統(tǒng)還包括一個(gè)噴嘴，用于從過濾器接收光阻，并用于將光阻涂于一外部物體；一個(gè)氣動(dòng)閥，它連至噴嘴，以控制光阻的流量。

在上述的光阻回收系統(tǒng)中，所述的回收容器通過回流導(dǎo)管將光阻回流至存儲(chǔ)容器中。

在上述的光阻回收系統(tǒng)中，所述的回流導(dǎo)管插入存儲(chǔ)容器中且位于存儲(chǔ)容器的底端為齒狀。

在上述的光阻回收系統(tǒng)中，如前所述的回收容器為至少是300毫升的容器。

本發(fā)明由于采用了上述的技術(shù)方案，使之與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下的優(yōu)點(diǎn)和積極效果：

1.回收利用光阻，避免光阻材料的浪費(fèi)，節(jié)約生產(chǎn)成本。

2.減少光阻中的氣泡產(chǎn)生，提高光阻的利用率。

附圖說明

本發(fā)明的光阻回收系統(tǒng)由以下的實(shí)施例及附圖給出。

圖1為一種半導(dǎo)體制造工藝中供應(yīng)光阻的傳統(tǒng)供應(yīng)系統(tǒng)示意圖；

圖2為本發(fā)明的光阻回收系統(tǒng)示意圖；

圖3為插入存儲(chǔ)光阻容器中的回流導(dǎo)管的局部放大圖；

具體實(shí)施方式