[發明專利]光阻回收系統無效
| 申請號： | 200710042408.5 | 申請日： | 2007-06-22 |
| 公開（公告）號： | CN101329512A | 公開（公告）日： | 2008-12-24 |
| 發明（設計）人： | 盧健;張建峰 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16;G03F7/26 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 王潔 |
| 地址： | 2012*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 回收 系統 | ||
1、一種光阻回收系統，包括：
一個存儲容器，用于存儲光阻；
一個過濾器，用于從存儲容器接收光阻，并具有一個從過濾器排出的排放管；
其特征在于：光阻回收系統還包括一個回收容器，它連接在過濾器的排放管與存儲容器之間，用于使過濾器排出的光阻回流至存儲容器中。
2、如權利要求1所述的光阻回收系統，其特征在于：所述的光阻回收系統還包括一個中間箱，用于從存儲容器中接收光阻；一個泵，用于從中間箱中將光阻抽至過濾器中。
3、如權利要求2所述的光阻回收系統，其特征在于：所述的光阻回收系統還包括一個噴嘴，用于從過濾器接收光阻，并用于將光阻涂于一外部物體；一個氣動閥，它連至噴嘴，以控制光阻的流量。
4、如權利要求1所述的光阻回收系統，其特征在于：所述的回收容器通過回流導管將光阻回流至存儲容器中。
5、如權利要求4所述的光阻回收系統，其特征在于：所述的回流導管插入存儲容器中且位于存儲容器的底端為齒狀。
6、如權利要求1或4所述的光阻回收系統，其特征在于：所述的回收容器為至少是300毫升的容器。
7、一種光阻回收系統，包括：
一個存儲容器，用于存儲光阻；
一個中間箱，用于從存儲容器接收光阻，并具有一個從中間箱排放光阻的排放管；
一個過濾器，用于從中間箱接收光阻，并具有一個從過濾器排出的排放管；
其特征在于：光阻回收系統還包括一個回收容器，它連接在過濾器、中間箱的排放管與存儲容器之間，用于使過濾器排出的光阻回流至存儲容器中。
8、如權利要求7所述的光阻回收系統，其特征在于：所述的光阻回收系統還包括一個泵，用于從中間箱中將光阻抽至過濾器中。
9、如權利要求8所述的光阻回收系統，其特征在于：所述的光阻回收系統還包括一個噴嘴，用于從過濾器接收光阻，并用于將光阻涂于一外部物體；一個氣動閥，它連至噴嘴，以控制光阻的流量。
10、如權利要求7所述的光阻回收系統，其特征在于：所述的回收容器通過回流導管將光阻回流至存儲容器中。
11、如權利要求10所述的光阻回收系統，其特征在于：所述的回流導管插入存儲容器中且位于存儲容器的底端為齒狀。
12、如權利要求7或10所述的光阻回收系統，其特征在于：所述的回收容器為至少是300毫升的容器。
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