[發明專利]電阻溫度系數測量方法

有效

• 申請號: 200710042392.8
• 申請日: 2007-06-22
• 公開（公告）號: CN101329295A
• 公開（公告）日: 2008-12-24
• 發明（設計）人: 周柯;范偉海;朱月芹
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G01N27/14
• 分類號: G01N27/14;G06F19/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司
• 代理人: 陳亮

技術領域

本發明涉及一種電阻溫度系數測量方法。

背景技術

目前，為了測量電阻溫度系數(Temperature?coefficient?ofresistance，TCR)，通常的做法是，利用一熱盤逐漸加熱電阻，并測量電阻在不同溫度下的阻值，獲得一R～T曲線，例如圖1所示的曲線中，分別測量該電阻在25℃、50℃、100℃、150℃下的電阻值，通過直線擬合，獲得R～T關系曲線，并求出R與T的函數關系R＝0.1006T+27.485。因此例如25℃時的電阻溫度系數

TCR(25℃)＝ΔR/ΔT/R(25℃)＝0.1006/(0.1006*25+27.485)≈0.0033/℃

這種方法需要耗費很多時間在熱盤溫度的上升、下降和穩定過程中，尤其是在目標的自動測量系統中更是如此。而由于即使對于同一個電阻，其TCR也并不是固定不變的，每次測量都需要使用熱盤加熱獲得R～T曲線，這將耗費很多時間。鑒于此，有必要提出一種可以快速測量TCR的方法。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是提供一種可以快速測量電阻溫度系數的電阻溫度系數測量方法。

本發明為解決上述技術問題而采用的技術方案是提供一種電阻溫度系數測量方法，包括以下步驟。首先，用電流I對待測電阻R加熱，記錄加熱過程中電阻阻值R隨電流I的變化；其次，利用電阻R和電流I查詢一第二表格，確定一與電阻R有關的第一變量I²R；再者，查找一第一表格，確定第一變量I²R與溫度T的關系；以及查詢一預定的數據庫，確定電阻溫度系數TCR。該預定數據庫通過計算公式(1)來計算TCR。

TCR(T)=dRdT*1R=dRd(I2R)*d(I2R)dT*1R---(1)]]>

由于上述公式(1)中，可由T～I²R斜率(又稱Rth，ThermalResistance，熱阻)導出，而Rth對于相同結構(相同長度和厚度)的電阻是相對固定的值，可以事先以與上述待測電阻相同結構的電阻進行測量獲得，借此建立包含I²R～T關系的預定的第一表格，以供后來測量TCR時使用。

測量步驟包括：

利用熱盤(Hot?Chuck)對所述電阻加熱，獲得其阻值與溫度的關系R～T；

利用電流I對所述電阻加熱，獲得其阻值與電流的關系R～I；

無論是采用熱盤加熱，還是采用電流加熱，相同的電阻總是對應相同的溫度，根據上述R～T關系和R～I關系就可獲得一組阻值、電流和溫度的對應關系，根據該對應關系，求出I²R～T的關系，即獲得對應溫度T的上述R、I、T及均可保存在第一表格中。

第一表格建立后，可以供后來計算用，因此以后測量同種結構的電阻的TCR，只需采用電流加熱，求得再利用已知的即可利用公式(1)求得TCR。由于電流加熱的過程十分迅速，且不需測量溫度，因此并沒有溫度升降和穩定的控制，因此采用電流加熱方法將能快速獲得電阻的TCR。

附圖說明

為讓本發明的上述目的、特征和優點能更明顯易懂，以下結合附圖對本發明的具體實施方式作詳細說明，其中：

圖1是現有的測量電阻溫度系數的曲線示意圖。