[發明專利]電阻溫度系數測量方法

有效

• 申請號: 200710042392.8
• 申請日: 2007-06-22
• 公開（公告）號: CN101329295A
• 公開（公告）日: 2008-12-24
• 發明（設計）人: 周柯;范偉海;朱月芹
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G01N27/14
• 分類號: G01N27/14;G06F19/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司
• 代理人: 陳亮

1.一種電阻溫度系數測量方法，其特征在于包括：

用電流I對待測電阻R加熱，記錄加熱過程中電阻阻值R隨電流I的變化；

利用電阻R和電流I查詢一第二表格，確定一與電阻R有關的第一變量I²R；

查找一第一表格，確定第一變量I²R與溫度T的關系；以及

查詢一預定的數據庫，確定電阻溫度系數TCR，

其中，通過測量與所述待測電阻同種結構的電阻的第一變量I²R與溫度T的關系，來建立所述第一表格，

并且在所述預定的數據庫中，是利用公式：

TCR(T)=dRdT*1R=dRd(I2R)*d(I2R)dT*1R]]>來計算TCR。

2.如權利要求1所述的電阻溫度系數測量方法，其特征在于，測量所述第一變量I²R與溫度T關系的步驟包括：

利用熱盤對所述電阻加熱并測量阻值R和溫度T，獲得該阻值與溫度的關系R～T；

利用電流I對所述電阻加熱并測量阻值R，獲得其阻值與電流的關系R～I；以及

根據上述阻值R、電流I和溫度T的對應關系確定I²R～T的關系。