[發明專利]半導體器件光學檢測裝置及檢測方法

無效

• 申請號: 200710040298.9
• 申請日: 2007-04-29
• 公開（公告）號: CN101294864A
• 公開（公告）日: 2008-10-29
• 發明（設計）人: 梁金剛;陳亮;許俊
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G01M11/00
• 分類號: G01M11/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司
• 代理人: 陸嘉

技術領域

本發明涉及半導體器件的檢測技術，更具體地說，涉及半導體器件的 光學檢測技術。

背景技術

在半導體器件的檢測技術中，需要對器件進行宏觀的檢測(macro inspection)，宏觀檢測通常都是采用光學檢測。光學檢測的基本原理是由 光源產生光并照射到待檢測的半導體器件上，然后使用光學顯微鏡對半導 體器件進行檢測。通常，檢測半導體器件上不同的部分需要采用不同顏色 的光。比如檢測器件的整體狀況時需要使用白光，而檢測LCOS時需要使 用綠光。并且，不同的光對于光學檢測靈敏度也不同，因此，對于不同檢 測要求的光學檢測，或者使用不同的光學顯微鏡，就需要使用不同顏色的 光。

在現有技術中，所采用的光源都是單色光源，因此，對于需要不同顏 色的情況，需要進行光源的更換或者使用不同的檢測裝置進行檢測。這在 檢測的速度和成本上都帶來了缺點，于是，就需要一種能夠提供多色光的 光學檢測裝置。

發明內容

本發明的目的是提供一種新型的半導體器件光學檢測技術，能夠在一 個光學檢測裝置中提供多種顏色的光，同時滿足對于不同顏色光的需求。

根據本發明的一方面，提供一種半導體器件光學檢測裝置，包括：

光學顯微鏡，對半導體器件進行光學檢測；

光源，照射所述待檢測的半導體器件，其中，光源產生不同顏色的光， 用于宏觀檢測不同的半導體器件。

根據本發明的一實施例，所述光源包括：

光生成裝置，產生一合成光；

光分解裝置，將合成光分解成各色的單色光；

光選擇裝置，選擇所需要的單色光并輸出照射待測的半導體器件。

其中，光分解系統包括濾光器件，將合成光分解成各色的單色光，且 單色光在空間上分散分布。并且，光選擇裝置為空間選擇裝置，從在空間 上分散分布的單色光中選擇所需要的單色光。

根據一實施例，光合成裝置產生的合成光為白光。

根據本發明的第二方面，提供一種半導體器件光學檢測方法，包括：

提供一產生不同顏色的光的光源，并照射半導體器件，其中，不同顏 色的光用于宏觀檢測不同的半導體器件；

用光學顯微鏡對半導體器件進行光學檢測。

根據本發明的一實施例，提供一產生不同顏色的光的光源并照射半導 體器件包括：

產生一合成光；

將所述合成光分解成各色的單色光；

選擇所需要的單色光并輸出照射所述待測的半導體器件。

其中，將合成光分解成在空間上分散分布的各色的單色光。并且，從 在空間上分散分布的單色光中選擇所需要的單色光。

根據一實施例，該合成光為白光。

采用本發明的技術方案，能夠在一個光學檢測裝置中提供多種顏色的 光，以滿足不同的應用需求，本發明的技術方案在各色光之間的切換十分 方便迅速，并且只需要采用一個光學檢測裝置，成本較低。

附圖說明

本發明的上述的以及其他的特征、性質和優勢將通過下面結合附圖對 實施例的描述而變得更加明顯，在附圖中，相同的附圖標記始終表示相同 的特征，其中：

圖1是根據本發明的一實施例的半導體器件光學檢測裝置的結構圖；

圖2是根據本發明的一實施例的半導體器件光學檢測方法的流程圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例進一步說明本發明的技術方案。

根據本發明，提供一種半導體器件光學檢測裝置，參考圖1，該裝置 100包括：

光學顯微鏡102，對半導體器件104進行光學檢測。

光源106，照射待檢測的半導體器件104，其中，光源106產生不同 顏色的光，用于宏觀檢測不同的半導體器件104。

根據圖1所示的實施例，該光源106包括：

光生成裝置160，產生一合成光。一般而言，該合成光可以為白光。

光分解裝置162，將合成光分解成各色的單色光。根據圖1所示的實 施例，該光分解裝置162包括濾光器件，將合成光分解成各色的單色光， 且單色光在空間上分散分布。該光分解裝置162的濾光器件可以采用諸如 偏振片、棱鏡等的元件實現，將合成光分解成相互平行分布的、或者是散 射的單色光。