[發(fā)明專利]半導(dǎo)體器件光學(xué)檢測裝置及檢測方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710040298.9
• 申請日: 2007-04-29
• 公開（公告）號: CN101294864A
• 公開（公告）日: 2008-10-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 梁金剛;陳亮;許俊
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G01M11/00
• 分類號: G01M11/00
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司
• 代理人: 陸嘉

1.一種半導(dǎo)體器件光學(xué)檢測裝置，其特征在于，包括：

光學(xué)顯微鏡，對半導(dǎo)體器件進行光學(xué)檢測；

光源，照射所述待檢測的半導(dǎo)體器件，其中，所述光源產(chǎn)生不同顏色 的光，用于宏觀檢測不同的半導(dǎo)體器件。

2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述光源包括：

光生成裝置，產(chǎn)生一合成光；

光分解裝置，將所述合成光分解成各色的單色光；

光選擇裝置，選擇所需要的單色光并輸出照射所述待測的半導(dǎo)體器件。

3.如權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，

所述光分解系統(tǒng)包括濾光器件，將合成光分解成各色的單色光，且所 述單色光在空間上分散分布。

4.如權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，

所述光選擇裝置為空間選擇裝置，從在空間上分散分布的單色光中選 擇所需要的單色光。

5.如權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，

所述光合成裝置產(chǎn)生的合成光為白光。

6.一種半導(dǎo)體器件光學(xué)檢測方法，其特征在于，包括：

提供一產(chǎn)生不同顏色的光的光源，并照射半導(dǎo)體器件，其中，所述不 同顏色的光用于宏觀檢測不同的半導(dǎo)體器件；

用光學(xué)顯微鏡對半導(dǎo)體器件進行光學(xué)檢測。

7.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述提供一產(chǎn)生不同顏色 的光的光源并照射半導(dǎo)體器件包括：

產(chǎn)生一合成光；

將所述合成光分解成各色的單色光；

選擇所需要的單色光并輸出照射所述待測的半導(dǎo)體器件。

8.如權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，

將合成光分解成在空間上分散分布的各色的單色光。

9.如權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，

從在空間上分散分布的單色光中選擇所需要的單色光。

10.如權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，

所述合成光為白光。