[發明專利]半導體生產系統的程序處理方法

無效

• 申請號: 200710039198.4
• 申請日: 2007-04-06
• 公開（公告）號: CN101281393A
• 公開（公告）日: 2008-10-08
• 發明（設計）人: 曾繁中;錢洪濤
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G05B19/04
• 分類號: G05B19/04;H01L21/00
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

技術領域

本發明涉及半導體制造領域，具體地說，涉及一種半導體生產系統的程序處理方法。

背景技術

在半導體制造領域，為提高生產效率，通常需要多條生產線多臺工作設備同時進行同一操作步驟。通常半導體生產系統包括可以設置和控制數個工作設備程序的程序管理裝置(recipe?management?system)。連接至程序管理裝置上的數個工作設備具有執行相同工藝步驟的程序(recipe)。程序管理裝置具有啟動每臺工作設備程序的控制模塊，啟動控制模塊，工作設備根就會根據程序對待加工產品進行操作。在制造過程中，工作設備的程序常常需要根據產品的不同要求進行修正。一般程序處理方法是分別修改每一臺工作設備的程序，然后再傳輸給程序管理裝置進行更新。

但是，由于每臺工作設備的程序是相同的，一臺一臺的修改相同的程序造成重復操作，不僅浪費時間，而且當工作設備較多時，容易產生漏掉修改某些工作設備的程序或者是漏掉修改程序的某一步驟的現象，從而造成對產品的錯誤操作。

因此，需要提供一種新的半導體生產系統的程序處理方法以克服上述缺陷。

發明內容

本發明解決的技術問題在于提供一種簡單且低誤操作率的半導體生產系統的程序處理方法。

為解決上述技術問題，本發明提供了一種新的半導體生產系統的程序處理方法，該方法包括如下步驟：提供程序管理裝置，其具有程序控制模塊；提供與程序管理裝置相接通的數個工作設備，所述數個工作設備均具有執行相同工藝步驟的程序；根據工藝要求在程序管理裝置的程序控制模塊修改程序；程序控制模塊將修改后的程序一次向所需修改程序的工作設備傳輸，更新工作設備內的程序。

與現有技術相比，本發明程序處理方法只需要修改程序控制模塊的程序，就可以一次修改所有所選工作設備的程序。這種處理方法不僅節省了修改各個工作設備程序的時間，而且避免修改過程中的誤操作，達到了提高工作效率有益效果。

具體實施方式

本發明公開了一種半導體生產系統的程序處理方法，其包括：提供程序管理裝置，其具有程序控制模塊；提供與程序管理裝置相接通的數個工作設備，所述數個工作設備均具有執行相同工藝步驟的程序，所述程序控制模塊控制所述工作設備是否執行程序；根據工藝要求，在程序管理裝置的程序控制模塊內修改程序；選擇需要修改程序的工作設備，然后程序控制模塊將修改后的程序一次向所選的多個或所有工作設備傳輸，更新所選工作設備內的程序。

采用本發明揭示的處理方法，只需要修改程序控制模塊，就可以一次修改所有需要修改的工作設備的程序。這種處理方法不僅節省了修改程序的時間，而且避免修改過程中，由于修改次數太多而造成的誤修改、漏修改的現象，從而避免了工作設備對產品的誤操作，提高了工作效率。